色散共焦光谱位移传感器的功能介绍
色散共焦光谱测量技术是全新技术，区别于传统三角测距法
由东莞蓝海精密提供的ERT白光同轴色散共焦光谱检测技术让我们进入纳米级的测量领域
色散共焦光谱产品的特性能
1. 色散共焦光谱的产品原理：全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；
2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；
3. **高精度测量：小线性度可达0.03μm，高分辨率为0.3 nm；
4. 从100μm-42 mm的可选量程；
5. 色散共焦光谱**高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；
6. 色散共焦光谱测量范围较广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差 等问题，大可测倾角87度；
7. 色散共焦光谱可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的测量，小可测量厚度为400 nm；
8. 色散共焦光谱可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。
色散共焦光谱位移传感器原理简介
1. 一束白光穿过小孔S，照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光，每一个波长对应一个固定的距离值。
2. 当对象出现在测量区域的时候，一个特定波长的单色光正好照射在其表面，并且反射进光学系统。
3. 此反射光通过一个小孔S,,（只有聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔），由波长识别系统(光谱仪)识别其波长，从而得到其所代表的距离值。
4.由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值.
色散共焦测量传感器的应用案例
屏幕厚度，玻璃基底上的凹坑测量
智能手机或平板电脑上那层镀过膜的、**高硬度的屏幕玻璃是通过非常精密的工艺生产出。其切割边缘需要被完全检验来判断玻璃是否能进入到下面的拼装工序中。ERT的色散共焦测量传感器能够使用不同的测头在线测量屏幕玻璃的尺寸和厚度。色散共焦传感器通过一次扫描能同时测量玻璃的翘曲度和厚度。色散共焦传感器也能测量玻璃表面那些由打磨或激光消融产生的凹坑或缺口的深度。这些凹坑会导致玻璃在往后的使用中由于受力开裂。
色散共焦测量微透镜阵列
色散共焦测量微透镜阵列
色散共焦测量传感器能够测量微透镜的形貌从而检测出表面的缺陷。表面形貌处理对于透镜非常重要，因为它能防止透镜生成扭曲的图像以及优化透光效果。那些圆柱形、非球面形或球面形透镜阵列通常都是由折射率和透明度很高的玻璃构成。采用光谱共焦技术的非接触式测量系统在测量中不会碰到样品，能够防止触碰式测量中探针对透镜的刮伤，同时又能很方便地勾画出透镜的表面三维图像。透镜的曲率半径能够很容易地获得。色散共焦测量传感器能生成很清晰明显的3D数据。
色散共焦测量芯片处理：芯片贴合，OLED与LED芯片
金属制的OLED显示屏罩能够通过ERT线传感器测量表面的瑕疵。色散共焦测量传感器也适用于高发光率小型化的紧凑型LED芯片封装，比如LED背景光和LCD屏幕。这些产品的切割轮廓或表面形貌都能被测量。在产品组装时，ERT的色散共焦测量传感器能够帮助检测芯片安装的位置是否正确。
目前单一LED已经不再使用，取而代之的是集成度很高的发光二极管芯片。在检测这些光学芯片时会经常用到非接触式色散共焦测量传感器，他们能够方便地测量出LED的高度（在Z方向上）
