光谱共焦传感器的应用
MEMS
★ 3D表面形貌
★ 关键尺寸
植入体
★ 3D表面形貌
★ 表面粗糙度
★ 关键尺寸
主流微观几何测量功能
★ 利用同轴光在表面聚焦，解决透明、反光表面测量难题
★ 高亮度白光LED光源经黑色表面返回更多测量信号
★ 测量范围小至集成电路，大至手机屏
★ 高±42.5°大角度表面测量能力，获取更多极限和边缘处数据
光谱共焦传感器在测量曲面屏具有很多优势：
（1）材质不容易损坏，弹性上比普通手机更强；外形看上去个性，至于实用 性，鉴于手机尺寸有越做越大的趋势，曲面屏幕可能更加方便操作。
（2）曲面屏幕更易于人眼观看。表示这种屏确实更加符合人类视网膜弧度，能改善感官体验。这一点也许在曲面电视屏幕上的感受更直接一些。
（3）曲面屏幕厚度低，重量轻且功耗低。这与柔性屏幕采用的AMOLED——有源矩阵**发光二极管技术有关。这种二极管省电、能耗低、支持弯曲显示。这对智能手机继续向着更加轻、薄且续航长来说十分有利。
随着曲面屏幕手机的推出，如何测量曲面玻璃的弧度，平面度，厚度以及三维轮廓成为业界新的技术难题。ERT公司采用光谱共焦位移传感器，对曲面玻璃屏幕进行测量，达到了良好的效果。
光谱共焦传感器可实现纳米级测量技术
纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率，获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率，更多采样值带来更的分析结果
★ 高14nm测量头精度，输出可信赖的测量数据
