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常州旭昇甩干设备有限公司
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关 键 词:甩干机
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发布时间:2009-02-13
一、主要用途: 该产品主要用于硅圆片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、双腔两种结构(也可按用户要求配置),主要的作用是:喷淋旋转冲洗+离心甩干+氮气加热烘干。 二、主要技术特点 1.采用高性能的可编程控制器实现逻辑控制。 2.采用彩色液晶汉显监控,可存储十种用户工艺菜单。 3.结构采用净化处理技术。 4.去离子水电阻率监控。 5.防静电控制。 6.氮气温度控制,腔体温度控制。 7.转轴氮气密封。 8.可选无刷电机驱动。 9.旋转载体定位。 10.故障自动诊断,显示及报警系统。 11.可按用户特殊要求配制。 三、结构特点: 1.轴用直流伺服电机实现无级调速,离心转桶较高转速2800转/分。 2.离心转桶的转轴和甩干桶之间采用氮气动密封,减少对环境的污染。 3.橡胶门在工作时充气膨胀,起到密封与安全作用,门上装有安全连锁装置,只有关上门后才能启动。 4.气加热器可以提供热氮气,加速甩干桶水分的蒸发。 5.定向制动装置,每次停机时,硅片承载器的开口向上,防止硅片掉出。 6.主要结构采用不锈钢。 四、主要技术参数: 1.适用范围:8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸硅片的清洗甩干。 2.清洗时的转速:1000转/分以下连续可调。 3.甩干时的转速:2800转/分以下连续可调。 五、功能介绍: 1. 容量大,大直径,一次可洗4盒-6盒 2. 采用变频技术,清洗和甩干速度按使用要求随意变换,并按实时显示在液晶屏上 3. 采用油压缸自动开门关门,平稳安全可靠 4. PLC全自动控制,整个过程智能化 5. 液晶智能显示工作状态及数据 6. 采用油浴炉加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有过热保护 7. 特制喷头和气液流体控制系统, 全自动切换 8. 清洗的时间可以根据需要随意调整 9. 整机采用不能磁化的不锈钢和铝板为原材料 10. 保证能够清洗甩干156mm以下规格的电池片 11. 可根据用户使用场合及洁净度要求,工件的较大加工直径及兼容性,生产和技术发展的需要定制符合其硅片规格的各类机型 六、主要特色: 1.融合欧洲同类产品先进技术 2.清洗甩干烘干一次完成 3.整个工作时间短,效率高,一般只需5-6分钟 4.可以清洗103mm~156mm 各种规格的硅片