9um单晶硅片研磨抛光微粉批发
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行 业:超硬材料 超硬制品 研磨材料
发布时间:2021-05-13
MCA(平板状氧化铝研磨微粉)的晶体形状为六角平板状,不同于传统磨料的等体积或者球形,此形状使磨料颗粒在研磨过程中平行于被加工工件(如半导体硅片等)表面,产生滑动的研磨效果,而非传统的磨料滚动研磨,因而不容易对工件表面产生划伤,同时因为研磨压力是均匀分布在平板颗粒表面,颗粒破碎减少,耐磨性大幅度提高,因而能提供的磨削效率和表面光洁度。质量同日本 FUJIMI公司的PWA和美国Microgrit 的WCA相当。
平板状氧化铝抛光研磨微粉性能指标
粒度分布表 单位微米(μm)
产品名称 dv-0值 dv-3值 dv-50值 dv-94值
平板状氧化铝抛光研磨微粉的特点:
此产品主要成分为工业氧化铝,纯度达到99%以上,具有化学惰性,优异的耐热性,耐酸碱腐蚀性
超细氧化铝粉体的结构形貌要求因用途而异,例如粒度细小、且形貌为球形的超细氧化铝粉体适合制备陶瓷材料;而片状超细氧化铝粉体是铝酸盐荧光粉的理想原料。因此在制备过程中,根据其应用需要进行粉体的结构形貌控制就具有十分重要的影响。
工艺路线:板状刚玉生产的基本过程为球磨、成球、干燥、烧结。(1)球磨。采用拜耳法轻烧氧化铝粉为原料,进行连续球磨,细度和比表面积需达到一定要求,有助于氧化铝粉的烧结与致密化。(2)成球。磨细后的粉采用成球盘或成球简成球。成型后的坯球需具有一定的强度,避免在运往干燥器的过程中破裂。针对成球过程中半成品球含水量高、易分层、干燥困难等问题进行相应的工艺优化设计,妥善解决。(3)干燥。成形后的坯球进入干燥器内,利用竖窑内的逆流热风干燥除去约15%的水分。但竖窑内的温度要严格控制,以免坯球内部产生裂纹和分层,甚至结块和堵炉等,终造成球流运行中断,干燥质量下降。(4)烧结。坯球干燥后进入竖窑。烧结温度为1900~-1950℃。通过控制竖窑内热风温度及流速,获得发育充分、烧结完全的板状刚玉结构。烧成后经过冷却、捡选(捡出过烧和欠烧制品)、检验(对烧结完全的制品进行物化指标检测)、破碎和筛分后,可以获得不同粒径尺寸的产品。
另外,将氧化铝板晶作为第二相增韧剂加入到氧化铝陶瓷中,可以起到有效增加裂纹反射和桥联的作用,对提高陶瓷的断裂韧性有明显的效果,克服了一般氧化铝陶瓷机械性能较低而制约其更加广泛应用的不足。总之,板状氧化铝粉体有着广阔的应用前景。