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新余莱宝真空泵维修规格 莱宝真空泵 原装套件
价格:1000.00起
昆山熙日机械设备有限公司
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-04-27
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分子泵设计理念
莱宝真空针对不同应用提供基于不同轴
承和转子技术的涡轮分子泵。如
TURBOVAC系列机械轴承标准分子
泵;TURBOVAC MAG系列磁悬浮轴承
分子泵;TURBOVAC i/iX系列半磁浮分
子泵(半磁浮分子泵仅在排气端配置脂
润滑轴承,高真空端配置免维护的永磁
轴承)。莱宝真空的分子泵均不采用油
润滑轴承可以从理论上完全避免分子泵
对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所
有分子泵均可以任意角度安装。
Leybold莱宝真空泵维修系列
SV系列旋片式真空泵
SV10B SV16B SV25B SV40B SV65B SV100B SV100 SV200/ SV300 SV300B SV630 SV630B SV1200
D系列旋片式真空泵
D8C D16C D30C D60C D40B D65B
罗茨增压泵系列
WAU150 WAU250 WAU500 WAU1001 WAU2001
WSU250 WSU1001 WSU2001 WH4200 WH4400
昆山熙日机械设备有限公司长期致力于真空泵维修保养服务,成立至今始终秉承务实的职业,拥有一支**的维修团队,同时建立完善的服务体系,为客户提供更快,更好的真空泵维修保养服务。我司主要真空泵维修范围包括:旋片式、罗茨、螺杆、爪式、机组、真空系统、涡旋等类型泵浦,服务包括:普旭,莱宝,里其乐,贝克,爱德华,爱发科,大晃,阿尔卡特,荏原,好利旺等。
DIP
油扩散泵
DIP 油扩散泵是不带任何旋转部件的高真空泵,此类流体夹带泵的工作原理是基于蒸汽射流的传输能力。与其它高真空泵相比,扩散泵的抽速非常大,DIP系列扩散泵抽速为3000-50000 l/s。LEYBOJET集成了额外喷射级,以实现中真空范围内大的气载和稳定抽速。
德国莱宝DIP 20.000 油扩散真空泵维修
莱宝DIP20000油扩散泵主要技术参数:
抽速:20 000L/S
极限全压强:< 5.0 x 10-7mbar
蒸汽流真空泵的工作原理
扩散泵的运行倚赖于泵油蒸汽,其主要部件有:
- 含有进气口和排气口的冷却泵体
- 喷嘴系统
- 泵油锅
扩散泵工作时,油锅内泵油被加热至气化,油蒸汽被强迫通过泵内喷嘴系统。喷嘴的设计能将蒸汽加速至大于音速(拉瓦尔喷嘴),于是形成高速蒸汽喷射流,并被喷嘴以特定角度喷向泵体。蒸汽接触冷泵体后,冷凝成液态泵油流回油锅。扩散泵和其它类型的蒸汽流真空泵的抽气能力主要基于蒸汽喷射流对气体的传输能力。被抽气体在排气口被充分压缩后由前级泵抽出。
德国莱宝DIP 20.000 油扩散真空泵维修
油扩散泵
与其它的类型的蒸汽流真空泵相比,油锅内和蒸汽射流中的蒸汽密度是相当低的,因此气体分子几乎可以全部扩散进入蒸汽射流中,而其中的绝大部分分子会被抽出。
扩散泵的抽速(与进气口面积相关)高而恒定, 在进气压强约为10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低压强范围内,蒸汽射流不受真空室内压强变化的影响。
油扩散泵的工作
前级真空
在任何情况下,扩散泵都需配足够大小的前级泵(见技术数据),前级真空泵的规格和类型取决于工作条件和所抽气体量。
1.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以上连续工作 — 抽大量气体。
2.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以下连续工作 — 抽较少量气体。
使用扩散泵时,真空室必须通过阀(3)和粗抽线直接连到前级泵。先用前级泵
将真空室抽低至扩散泵能正常切入的压强,如扩散泵已准备完毕,可打开高真
空阀(4)开始。真空室破**,必须关闭前级真空阀(2)和高真空阀(4),扩散泵维持在备用状态。
抽速
任何一种泵的抽速都是指通过泵吸的体积流量。对于扩散泵来说对轻气体抽速比重气体抽速大。
泵油返流
某些油分子脱离蒸汽喷射流且未能被冷却的泵体捕集时,就可能发生不希望的返流现象。油分子之间的碰撞和泵体的反射,使其可能向真空室方向运动。
DIP扩散泵的返油率仅为每分钟每cm2进气口面积几μg,加水冷帽或冷阱捕集后,几乎可完全消除油返流。
扩散泵的返油率
- 无水冷帽和冷阱
约 1 x 10-2 mg x cm-2 x min-1
- 加有水冷帽
约 1 x 10-3 mg x cm-2 x min-1
- 加有冷阱
(T = 10 °C (50 °F))
约 1 x 10-5 mg x cm-2 x min-1
以上数据是在进口压强<1×10-4 mbar以及LVO500条件下测定的。
可达到的极限压强
真空系统可达到的极限压强不仅与扩散泵型号和额定抽速有关,还与泵油蒸汽压、冷阱的形状和温度、连接法兰或焊接点的泄漏以及真空室内表面状况有关。
在消除了因泄漏和腔体内壁脏造成的放气影响后,它将能达到“概述”一节所给“油扩散泵(DIP)可达到的极限压强”表中所述值。
实际上,以下组合对于实现无返油的高真空有很好的效果。
- 集成了水冷帽的扩散泵加配星形冷阱,水冷星形冷阱安装在扩散泵高真空法兰上。
密封方式
对10-8 mbar (0.75 x 10-8 Torr)的极限压强要求,烘烤温度150 °C (302 °F)已足够。须使用FPM ( FPM=氟橡胶,可耐150 °C (302 °F) 温度 ) 密封圈或铝制**级密封环。
为防止压强的变化,扩散泵与冷阱之间必须使用**级密封环。
低于10-8 mbar(0.75 x 10-8 Torr)的极限压强则要求烘烤温度高达400 °C ( 752 °F )。
实际上只须将真空室烘烤到400°C (752°F),而在冷阱上维持一个温度梯度,使泵法兰不**过150 °C (302 °F)。
在这种条件下,允许使用FPM密封环或铝制**级密封环。
莱宝DIP120000、DIP20000、DIP30000莱宝扩散泵泵维修保养。莱宝扩散泵上门检漏保养。
冷却
冷却进水温度不应**过25 °C (77 °F),出水不应大于30 °C (86 °F),否则不能保证泵油充分冷凝。当串联泵和冷阱的冷却水回路时,必须使冷却水首先流过冷阱然后再流过扩散泵,因为真空室可
达到的极限压强在很大程度上取决于冷阱上泵油的冷凝温度。
DIP系列泵是为工业系统使用而开发的。的真空性能与这种泵固有的机械耐用性相结合,使莱宝的扩散泵成为高和中真空领域的可靠设备。
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