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内热式真空炉
真空炉靠电阻加热，加热元件、隔热屏、炉床和其他构件等均装在加热室内，大型真空炉，依靠电极的热辐射实现对零件的加热。电热元件在炉膛的中部构成一个加热区，确保零件的均匀加热，在加热元件的外部装有金属辐射屏或非金属隔热屏，炉床在加热区的*。内热式真空炉的种类和形式很多，占国内外的真空炉数量的80%以上，常用于退火、淬火、回火、烧结和钎焊等。
真空炉的优点有哪些？
1）完全消除了加热过程中工件表面的氧化、脱碳，可获得无变质层的清洁表面。这对于那些在刃磨时仅磨一面的刀具（如麻花钻磨削后使沟槽表面的脱碳层直接暴露于刃口）切削性能的改善关系较大。
2）对环境无污染，不需进行三废处理。
3）炉温测定、监控精度明显提高。热电偶的指示值与炉温温度达到1.5c。但炉内大批工件不同部位的温差较大，若采用稀薄气体强制循环，仍可控制在5c温差范围内。
4）机电一体化程度高。在温度测控精度提高的基础上，工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定，按步骤实施淬火和回火。
5）能耗显著低于盐浴炉。现代先进的真空炉加热室采用优良隔热材料制成的隔热墙和屏障，可将电热能量高度集中于加热室内，真空炉，节能成效显著。
为了完成真空炉进程的自动操控，自动操控系统需求检测真空度、温度参数、工艺操作参数以及除气室、加热室和冷却室的工况，保证各炉膛技能温控要求的操控输出。主要有以下几个方面：
1、检测参数：除氧室、加热室和冷却室三个测温点的温度值、真空炉压力值、炉内真空度等。
2、检测状况：呼室、加热室、冷却室过温报警、**压报警、缺水报警等；
3、加热给出：操控温度操控仪表的运转，然后调整加热电源以改变炉膛内的温度。利用热电偶对各炉膛的温度进行采样，并将检测到的炉温与技能要求的温度值进行比较，并计算误差。温度操控表依据一定的规矩计算由操作量操控的加热电源板的加热电流，高温真空炉，然后对温度进行操控。
4、操控输出：操控物料车在排气室、加热室和冷却室之间的运输，操控分散泵、罗茨泵、机械泵、主阀、粗抽阀、前阀等动作，到达所需的真空环境。
