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扬州莱宝真空泵维修厂家 莱宝真空泵 服务周到
价格:1000.00起
昆山熙日机械设备有限公司
联系人:张小力
电话:13913143077
地址:江苏苏州昆山市宝益路101号502室
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行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2021-04-15
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
1真空泵维修
1、安装进口真空泵时,应检查电机是否正转,也就是电机与泵内转子转向一致,一般电机上方标有电机正常运转方向。
2、如果真空泵有吸入杂质、粉尘、水份、化学物质等潜在危险,应该在真空泵进气口位置加装精密过滤器,如果杂质、粉尘、水份量过大,必须加装储蓄罐进行过滤,以防止粉尘以及水份化学物质等杂质进入真空泵。
3、如果是旋片真空泵,应安装在清洁、干净的环境里,不宜有杂物、粉尘、水源、温度过高的区域。
4、真空泵的正常运转中,应保持泵内真空泵油不低于油标线,应在油镜2/3处,加油时,严禁与不同牌号、型号真空泵油混合使用。
5、应定期更换真空泵油,一般3-6个月进行一次更换,如发现泵油乳化、碳化等情况,还应及时更换真空泵油。
6、长时间停机启动真空泵前,应断续多次启动真空泵。
7、在真空泵运转时油温不应**75度,如故障原因请即时联系真空泵厂家。
适合应用特点的DRYVAC版本说明
莱宝DRYVAC DV和DV S对100mbar至大气压段的抽速进行了优化。因此DV和DVS型适合快速抽空应用(如进样室),或大腔室抽空。
莱宝DRYVAC DV C型在恶劣用途可以提供更高可靠性,其优化的性能适合光电和平板显示生产工艺常用的工艺气体。莱宝DRYVAC DV C型对氢气具有高抽速,并且由于集成了吹扫气系统,对于粉尘不敏感。
莱宝DRYVAC的主要特点:设计紧凑、易于布置成水平流的泵组。莱宝DV650比市场上同级别产品的功耗低30%。
莱宝DRYVAC平台的所有版本可提供不同类型的配置:对于DRYVAC -r,泵的变频器外置,可集成于外部电气柜内;对于其他泵型,变频器集成在泵上。DRYVAC-i型配置了带有触屏显示器和软件用户界面的PLC,使得操作和配置更加简单。S-i型标配Profibus或24V I/O接口(可根据要求提供其他接口)与系统对接。另外,S-i型安置在有脚轮、高度可调地脚和Harting插座/插头的完整外壳内。
DRYVAC DV450和DV650是单台螺杆泵,DV1200则配备了两个并联运行的螺杆泵。
DRYVAC DVR5000 C-i是DRYVAC -i的版本。该工艺泵由DRYVAC DV650 C螺杆泵和RUVAC WH 2500罗茨泵组成,整体进行了集成控制。与螺杆泵一样,WH 2500也是由变频器操纵和控制(Max. 100Hz)。泵组对氮气的有效抽速约为3800立方米/小时。
莱宝DRYVAC系列干式螺杆泵设计特点
- 创新式水冷(莱宝*有),泵温低
- 完全密封的螺杆和罗茨泵,只与外部形成静密封
- 机械和电气集成简单
- 通过监视运行温度、排气压力和电流消耗提供集成保护功能
- 占地面积小
- 能耗低,归功于优化的转子线形以及符合IE2 效率等级要求的创新电机设计
- 适用电压和频率范围大:380 -480V,50/ 60Hz
- NRTL认证
- 符合RoHS德国莱宝干式螺杆真空泵DV1200维修
莱宝DRYVAC DV系列干式螺杆泵与莱宝SCREWLINE SP系列设计主要设计不同点在于莱宝DRYVAC为螺杆两端轴承支撑,SCREWLINE为单侧轴承支撑(悬臂支撑)设计
客户得益
- 紧凑的螺杆干泵,占用空间小
- 系统集成灵活性非常高
- 噪音低
- 可靠性高
- 集成的自我功能
- 无意外停机,维护要求低
莱宝DRYVAC DV系列干式螺杆泵典型应用德国莱宝干式螺杆真空泵DV1200维修
- 太阳能镀膜(SiN、ZnO、a-Si/μ-Si、CdTe、CIS/CIGS等)
- 进样室
- 拉单晶/多晶硅铸锭
- 显示器和玻璃镀膜
- 耐磨涂层镀膜
- 带钢镀膜
- 工业炉
- 冶金
- 真空干燥
WA/WAU(H)2001 莱宝RUVAC罗茨泵
莱宝RUVAC罗茨泵WAU2001维修 莱宝真空油
WA:不带旁通阀的法兰连接标准电机的罗茨泵WAU:带旁通阀的法兰连接标准电机的罗茨泵(缩短抽空时间)莱宝Leybold WA/WAU系列罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备,广泛应用于各类真空应用。与前级泵配合组成罗茨机组,具有下列优点:降低极限压强按一般经验,配置罗茨真空泵后系统极限压强降低至原来的1/10。两级罗茨和相应前级泵组合其极限压强可达到10-5mbar(0.75 x 10-5Torr)量级,某些情况下*再另配高真空泵
WA:不带旁通阀的法兰连接标准电机的罗茨泵
WAU:带旁通阀的法兰连接标准电机的罗茨泵(缩短抽空时间)
莱宝Leybold WA/WAU系列罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备,广泛应用于各类真空应用。与前级泵配合组成罗茨机组,具有下列优点:
降低极限压强
按一般经验,配置罗茨真空泵后系统极限压强降低至原来的1/10。两级罗茨和相应前级泵组合其极限压强可达到10-5mbar(0.75 x 10-5Torr)量级,某些情况下*再另配高真空泵(涡轮分子泵,或扩散泵)。
抽速
由于转子是非接触转动,罗茨真空泵可高速运转,几何尺寸小的泵也能达到非常高的抽速,在中低真空范围单泵**过1500m3/h (589 cfm)的抽速,只有罗茨真空泵才能达到。
选择合适的前级泵和罗茨泵组合,即便是小抽速的前级泵也可实现抽除大量气体。与相同抽速的单一前级泵相比,能耗大大降低。
DIP
油扩散泵
DIP 油扩散泵是不带任何旋转部件的高真空泵,此类流体夹带泵的工作原理是基于蒸汽射流的传输能力。与其它高真空泵相比,扩散泵的抽速非常大,DIP系列扩散泵抽速为3000-50000 l/s。LEYBOJET集成了额外喷射级,以实现中真空范围内大的气载和稳定抽速。
德国莱宝DIP 20.000 油扩散真空泵维修
莱宝DIP20000油扩散泵主要技术参数:
抽速:20 000L/S
极限全压强:< 5.0 x 10-7mbar
蒸汽流真空泵的工作原理
扩散泵的运行倚赖于泵油蒸汽,其主要部件有:
- 含有进气口和排气口的冷却泵体
- 喷嘴系统
- 泵油锅
扩散泵工作时,油锅内泵油被加热至气化,油蒸汽被强迫通过泵内喷嘴系统。喷嘴的设计能将蒸汽加速至大于音速(拉瓦尔喷嘴),于是形成高速蒸汽喷射流,并被喷嘴以特定角度喷向泵体。蒸汽接触冷泵体后,冷凝成液态泵油流回油锅。扩散泵和其它类型的蒸汽流真空泵的抽气能力主要基于蒸汽喷射流对气体的传输能力。被抽气体在排气口被充分压缩后由前级泵抽出。
德国莱宝DIP 20.000 油扩散真空泵维修
油扩散泵
与其它的类型的蒸汽流真空泵相比,油锅内和蒸汽射流中的蒸汽密度是相当低的,因此气体分子几乎可以全部扩散进入蒸汽射流中,而其中的绝大部分分子会被抽出。
扩散泵的抽速(与进气口面积相关)高而恒定, 在进气压强约为10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低压强范围内,蒸汽射流不受真空室内压强变化的影响。
油扩散泵的工作
前级真空
在任何情况下,扩散泵都需配足够大小的前级泵(见技术数据),前级真空泵的规格和类型取决于工作条件和所抽气体量。
1.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以上连续工作 — 抽大量气体。
2.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以下连续工作 — 抽较少量气体。
使用扩散泵时,真空室必须通过阀(3)和粗抽线直接连到前级泵。先用前级泵
将真空室抽低至扩散泵能正常切入的压强,如扩散泵已准备完毕,可打开高真
空阀(4)开始。真空室破**,必须关闭前级真空阀(2)和高真空阀(4),扩散泵维持在备用状态。
抽速
任何一种泵的抽速都是指通过泵吸的体积流量。对于扩散泵来说对轻气体抽速比重气体抽速大。
泵油返流
某些油分子脱离蒸汽喷射流且未能被冷却的泵体捕集时,就可能发生不希望的返流现象。油分子之间的碰撞和泵体的反射,使其可能向真空室方向运动。
DIP扩散泵的返油率仅为每分钟每cm2进气口面积几μg,加水冷帽或冷阱捕集后,几乎可完全消除油返流。
扩散泵的返油率
- 无水冷帽和冷阱
约 1 x 10-2 mg x cm-2 x min-1
- 加有水冷帽
约 1 x 10-3 mg x cm-2 x min-1
- 加有冷阱
(T = 10 °C (50 °F))
约 1 x 10-5 mg x cm-2 x min-1
以上数据是在进口压强<1×10-4 mbar以及LVO500条件下测定的。
可达到的极限压强
真空系统可达到的极限压强不仅与扩散泵型号和额定抽速有关,还与泵油蒸汽压、冷阱的形状和温度、连接法兰或焊接点的泄漏以及真空室内表面状况有关。
在消除了因泄漏和腔体内壁脏造成的放气影响后,它将能达到“概述”一节所给“油扩散泵(DIP)可达到的极限压强”表中所述值。
实际上,以下组合对于实现无返油的高真空有很好的效果。
- 集成了水冷帽的扩散泵加配星形冷阱,水冷星形冷阱安装在扩散泵高真空法兰上。
密封方式
对10-8 mbar (0.75 x 10-8 Torr)的极限压强要求,烘烤温度150 °C (302 °F)已足够。须使用FPM ( FPM=氟橡胶,可耐150 °C (302 °F) 温度 ) 密封圈或铝制**级密封环。
为防止压强的变化,扩散泵与冷阱之间必须使用**级密封环。
低于10-8 mbar(0.75 x 10-8 Torr)的极限压强则要求烘烤温度高达400 °C ( 752 °F )。
实际上只须将真空室烘烤到400°C (752°F),而在冷阱上维持一个温度梯度,使泵法兰不**过150 °C (302 °F)。
在这种条件下,允许使用FPM密封环或铝制**级密封环。
莱宝DIP120000、DIP20000、DIP30000莱宝扩散泵泵维修保养。莱宝扩散泵上门检漏保养。
冷却
冷却进水温度不应**过25 °C (77 °F),出水不应大于30 °C (86 °F),否则不能保证泵油充分冷凝。当串联泵和冷阱的冷却水回路时,必须使冷却水首先流过冷阱然后再流过扩散泵,因为真空室可
达到的极限压强在很大程度上取决于冷阱上泵油的冷凝温度。
DIP系列泵是为工业系统使用而开发的。的真空性能与这种泵固有的机械耐用性相结合,使莱宝的扩散泵成为高和中真空领域的可靠设备。
SP250悬臂式干式螺杆真空泵
莱宝SCREWLINE SP250 - SP630(F)干式螺杆真空泵是为满足工业应用的要求而开发的。当需要可靠、紧凑、容易维护的真空解决方案用于高粉尘/水汽、定期需现场清洗时,采用创新设计的悬臂式SP系列干式螺杆真空泵成为首要之选。莱宝SCREWLINE SP系列特别适合有大量粉尘的应用场合!运行原理莱宝SCREWLINE螺杆真空泵属于干式压缩前级真空泵,其运行基于螺杆原理:两个同步旋转互相咬合的铝合金螺杆转子及其周围的壳体形成
莱宝SCREWLINE SP250 - SP630(F)干式螺杆真空泵是为满足工业应用的要求而开发的。当需要可靠、紧凑、容易维护的真空解决方案用于高粉尘/水汽、定期需现场清洗时,采用创新设计的悬臂式SP系列干式螺杆真空泵成为首要之选。莱宝SCREWLINE SP系列特别适合有大量粉尘的应用场合!
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