佰视特智能技术（东莞）有限公司
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关 键 词：厦门三维表面轮廓仪电话
行 业：仪器仪表 光学仪器 影像仪
发布时间：2021-04-13
三维表面轮廓仪的功能技术参数
1. Z 方向精度 < 0.01nm；
2. RMS重复性（PSI）< 0.01nm；
3. 能够提供多种FOV，从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换；
4. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程；
5. 支持高亮度的双LED光源；
6. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节；
7. 支持自动光强强度调节；
8. 全自动样品台支持150mm样品大小；
9. PC要具备多核处理器和支持64位软件；
10. 三维表面轮廓仪支持无缝拼接，可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像；
11. 三维表面轮廓仪支持分析参数扩展列表中自定义可视化数据，可实时进行自动数据记录和pass/fail判断；
12. 三维表面轮廓仪可自行设置数据输出的界面。
三维表面轮廓仪与其他设备的区别是什么？
三坐标测量机，三维表面轮廓仪与投影仪的区别
三坐标：精度较高。主要测量二维尺寸，三维尺寸都能测量，侧重点能测量三维尺寸，能测量一些空间尺寸，并且能做逆向工程。
投影仪：主要是通过光学原理，将被测量产品投影在一平面放大成像。精度没有三坐标高。
轮廓仪：侧重于一些曲面轮廓尺寸的测量。特别是对一些小特征，其它检测设备不好测量的尺寸，轮廓度就可以测量。三维表面轮廓仪功能强大。
佰视特三维表面轮廓仪(3D Profiling)
该仪器采用白光轴同轴色散原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和材料的研发和生产提供了一个的、价格合理的计量方案
三维表面轮廓仪的另一种功能是非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。
与其他测量方法不同，光谱共焦传感器在测量这种物体时，仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体前端面和后端面的反射光，从而得到层厚信息。由于测量只使用白光，*额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路，三维表面轮廓仪的传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许长50m的光纤连接探头和控制器。但是，需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒，这会影响测量精度，甚至使测量变得不可完成。由于三维表面轮廓仪采用的是光学测量方法，探头到被测物体的距离也有一定限制。
