佰视特智能技术（东莞）有限公司
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关 键 词：合肥优质三维表面轮廓仪厂
行 业：仪器仪表 光学仪器 影像仪
发布时间：2021-04-13
三维表面轮廓仪的测量光斑尺寸 共聚焦效应关键的就是将反射光聚焦到针孔上，然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值，整个光学原理决定着测量光斑越小，系统分辨率和精度越高。欧系传感器的测量光斑都会做到对应量程的小，而日系和国产传感器因为收光能力弱，系统稳定性差，只能刻意放大测量光斑尺寸，以至于导致传感器精度严重下降，但是从分辨率上不会明显显现，其实把传感器的测量光斑做的**大就像把传感器做成了“智障”。另外，传感器的横向分辨率是测量光斑的一半，测量光斑大小会决定了传感器的横向分辨率，比如测量一个0.1mm的边沿，测量光斑小的传感器可以轻松测量到，三维表面轮廓仪测量光斑过大的传感器完全无法测量微小的区域。三维表面轮廓仪的光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um。
佰视特团队小伙伴是由**的电子产品智能制造设备开发成员和欧洲光学零部件企业核心成员联合创立的企业。我们是一支拥有经验丰富、技术精湛的研发与服务团队，凭借强大的研发团队耕耘于机器视觉外观及尺寸检测多年，并在AOI检测上追求，所有设备完全*并拥有知识产权。
佰视特三维表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光共焦色散技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
三维表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等**精密加工行业及航空航天、*、科研院所等领域中。三维表面轮廓仪可测各类从**光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
角度特性 角度特性是指可测量样品的大倾角三维表面轮廓仪都会明确标明每个测头对应的大可测倾角。针对漫反射表面共焦位移传感器测头可以达到±87°，针对镜面反射TERT共焦位移传感器各种测头基本都可以达到±20°以上。这个参数对测量非平面表面非常关键，尤其针对3D玻璃、点胶胶水及高光金属表面。日系及国产光谱共焦位移传感器因为此参数非常低，多数未明确标出。角度特性差会导致众多异形位置无常测量到。佰视特三维表面轮廓仪则不会出现以上问题
三维表面轮廓仪的功能技术参数
1. Z 方向精度 < 0.01nm；
2. RMS重复性（PSI）< 0.01nm；
3. 能够提供多种FOV，从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换；
4. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程；
5. 支持高亮度的双LED光源；
6. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节；
7. 支持自动光强强度调节；
8. 全自动样品台支持150mm样品大小；
9. PC要具备多核处理器和支持64位软件；
10. 三维表面轮廓仪支持无缝拼接，可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像；
11. 三维表面轮廓仪支持分析参数扩展列表中自定义可视化数据，可实时进行自动数据记录和pass/fail判断；
12. 三维表面轮廓仪可自行设置数据输出的界面。
三维表面轮廓仪的另一种功能是非常适合光谱共焦传感器的应用是测量多层透明材料的厚度。
与其他测量方法不同，光谱共焦传感器在测量这种物体时，仅需要一支探头就可以完成测量。测量被测物体前端面和后端面的反射光，从而得到层厚信息。由于测量只使用白光，*额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路，三维表面轮廓仪的传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许长50m的光纤连接探头和控制器。但是，需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒，这会影响测量精度，甚至使测量变得不可完成。由于三维表面轮廓仪采用的是光学测量方法，探头到被测物体的距离也有一定限制。
