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关 键 词:天津专业三维表面轮廓仪
行 业:仪器仪表 光学仪器 影像仪
发布时间:2021-03-11
佰视特三维表面轮廓仪(3D Profiling)
该仪器采用白光轴同轴色散原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和材料的研发和生产提供了一个的、价格合理的计量方案
三维表面轮廓仪在运动中测量,编码器同步硬触发特色功能
三维表面轮廓仪的光谱共焦测量技术因其的分辨率从研发之初就是作为一种扫描测量的传感器,可以实现运动中扫描测量,不是像传统激光位移传感器只能做定点高度测量。中国自动化行业的设备商因为个别家传感器自身的硬件局限还未完全实现通过在运动过程中给硬件I/O触发或者读取编码器信号的方式进行全速的运动中测量。三维表面轮廓仪光谱共焦位移传感器拥有自己的编码器转换和分频模块,可以将编码器差分或单端信号转换成I/O触发给传感器,同时解决了软触发测量效率低、稳定性差以及同步性差的问题。
佰视特三维表面轮廓仪在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的。
佰视特生产的三维表面光学轮廓仪是目前国际上用在科学研究和工业领域表面轮廓测量设备,该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面,拥有长期不断发展的专利技术,由于这些技术的应用,佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的解决方案。佰视特在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的,生产的光学轮廓仪是目前国际上用在科学研究和工业领域表面轮廓测量设备,该公司在光学设计、精密机械和科学软件算法方面,拥有长期不断发展的专利技术,由于这些技术的应用,佰视特为生产和质量控制的研究和发展提供精密准确的解决方案。 ERT的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量,其核心部件达到纳米尺度的创新的光学设计,其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快,而且精度高,并提供了多种不同的表面分析方法,与系统匹配的软件包含参数设定(如扫描尺寸、线数、步进、转换台速度、数据采样速度)和数据后处理功能(如Abbott-Firestone曲线、快速傅立叶变换、自相关功能、三维成像、二维切片成像等) ,可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸,诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等,并计算关键部位的面积和体积等参数。 垂直测量范围:27mm 垂直分辨率:<2nm 扫描速度 1m/s 横向分辨率:5nm .
我们全体佰视特人恪守诚信务实的信念,愿意秉持多赢思维,实现、同仁、客户、股东及合作方共同成长、共享价值。抓住伟大时代发展机遇,勇于突破和创新,开创性地开展和完成时代赋予我们的使命。
全体佰视特同仁凭借努力践履所学,使所学终有所落实,做到“知行合一”。踏踏实实,一心一意,坚持不懈。我们始终相信只有坚信自己的目标、拥有坚定意志的人,才能真正做到“笃行”。
三维表面轮廓仪的应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
三维表面轮廓仪应用范例:
3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差
半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
超精密加工.光学透镜
精密加工.发动机叶片
精密加工.金字塔型金刚石磁头
标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度
三维表面轮廓仪的主要特点:
、稳定测量
★ 点、线、面三种测量模式,应对从简单到复杂的测量任务
★ 2D轮廓测量,包含长宽高、角度和台阶高度等十余项
★ 3D形貌测量,包含体积、表面积、翘曲度和腐蚀分析等
★ 符合国际ISO25178标准的面粗糙度测量分析
三维表面轮廓仪的纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率,获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率,更多采样值带来更的分析结果
★ 高14nm测量头精度,输出可信赖的测量数据