干式真空泵的工作特点主要是利用左右螺杆的高速同步和反向旋转，由泵壳和啮合螺旋桨的螺旋槽分割成多个空间，形成多个气体在等槽内运动，且无压缩。只有螺旋杆末端的螺旋结构可以压缩气体。螺旋在各个层次之间形成压力梯度，分散压差，提高压缩比。各断面间的间隙及泵速对其性能影响较大。在进行螺杆间隙设计时，必须考虑伸缩性、加工装配精度和工作环境，干式真空泵没有像罗茨真空泵那样的排气阀。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业早在2008年就将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。
干式真空泵选用渠道：
1、干式真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如，真空涂层需要1×10-5mmHg的真空，并且所选干式真空泵的真空必须至少为5×10-6mmHg。干式真空泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。
2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围，例如，扩散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内，泵的泵送速度随压力而变化，其稳定的工作压力范围为5×10。 -4〜5×10-6mmHg。因此，泵的工作点应在此范围内选择，不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压力应小于1×10-5mmHg。
3、真空泵应能够在其工作压力下去除真空设备过程中产生的所有气体。
4、正确组合了真空泵。由于真空泵具有选择性泵送，有时泵不能满足泵送要求，并且需要将多个泵组合以相互补充以满足泵送要求。例如，钛升华泵对氢气具有高抽速，但不能泵送，并且三较溅射离子泵（或双较不对称阴极溅射离子泵）对氩气具有一定的抽速。组合时，真空装置将具有更好的真空。另外，有些真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；一些真空泵出口压力低于大气压力，需要前级泵，因此需要将泵组合在一起。
干式螺杆真空泵传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，较少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。
目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。
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