干式真空泵的工作特点主要是利用左右螺杆的高速同步和反向旋转，由泵壳和啮合螺旋桨的螺旋槽分割成多个空间，形成多个气体在等槽内运动，且无压缩。只有螺旋杆末端的螺旋结构可以压缩气体。螺旋在各个层次之间形成压力梯度，分散压差，提高压缩比。各断面间的间隙及泵速对其性能影响较大。在进行螺杆间隙设计时，必须考虑伸缩性、加工装配精度和工作环境，干式真空泵没有像罗茨真空泵那样的排气阀。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业早在2008年就将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。
干式真空泵无法启动的原因分析
机械设备在长时间使用之后，很容易出现或大或小的一些故障，对于干式真空泵来说也不例外，常见的故障有无法启动，这会影响正常的工业生产进度，为了避免该类现象的发生我们就要清楚产生的原因有哪些。
1、电机烧坏
干式真空泵出现无法启动的现象，主要为电机定子线圈烧毁引起的，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，从而引起温度上升，烧毁电机。
2、旋片卡阻
旋片卡阻主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片，其原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，从而导致干式真空泵出现无法启动的现象。
此外，干式真空泵在正常使用期间，停泵以后无法再次启动，还有可能是因为所抽气体中的冷凝物料滞留在泵体内在常温下凝固致使2个转子之间以及转子与泵体之间发生粘结而无法启动，或者是因为所抽气体中粉尘太多滞留泵体内挤住转子不能转动导致。
干式螺杆真空泵传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，较少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。
目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。
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