蓝海精密这款三维轮廓仪是进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器，也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析，以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量。三维表面轮廓仪根据国际标准计算2D和3D参数，使用新的ISO 25178 标准表面纹理分析，依靠新的 ISO 16610 滤除技术进行计算，从而保证了国际公信力。
三维表面轮廓仪创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术，一套表面轮廓仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。
表面轮廓仪应用：测量轮廓，台阶高度，表面形貌，距离，面积，体积分析形态，粗糙度，波纹度，平整度，颗粒度摩擦学研究，光谱分析
三维轮廓仪广泛用于：磨料磨具，航天，汽车，化妆品，能源，，微机电系统，冶金，造纸和塑料等领域。
三维轮廓仪
ERT作为三维表面测量与测量业界的不断探索者，提供从微观到航空发动机内腔各部件等不同大小样品的非接触式测量分析。历经数多年的努力，在原有*特技术的基础上，不断积累创新，来保证面对各种应用环境时三维测量所需的高灵敏度和稳定性；而这一挑战往往是其他测量技术或测量系统难以克服的。ERT能够提供工业上功能强大新型的图形用户界面。智能便捷的操作架构，直观的可视化工作流和广泛的用户定义的自动化能力的结合，使得用户能够快速有效的收集和分析数据。可自动生成用户需要的的结果报告。这些新特性让的表面测量报告与广泛的行业标准相兼容。
ERT测量系统在业界一直以服务着称，在性能稳定性上一贯口碑良好。从研究型实验室到生产型车间和半导体无尘间，数以几千计的系统被广泛使用。作为为质量控制和研发设计的测量仪器，可用于精密加工制造类应用的测量，在手机、汽车、航空航天、太阳能、半导体和器械领域，ERT总有一款适合您应用和与预算的光学测量系统。
ERT的表面测量与检测
便携式三维轮廓测量仪
仪器设备的基本技术参数
● 型号:MS100
● XY轴行程：100mm x 100mm
● Z轴行程：100mm
● Z轴量程：4mm(可选配50nm-24mm）
● 光斑直径：8um(可根据光笔不同型号选择，小可小于2um)
● XY轴分辨率：50nm
● XY轴平面度:<2um
● XY轴重复定位精度：0.5um
● Z轴线性度：0.01%F.S
● Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔小为14nm)
● XY轴大扫描速度：20mm/s
● 样品可测大倾角：漫反射表面大87度
● 适用范围：任何材质表面，尤其对玻璃、镜面、高光表面均可进行稳定测试
功能与应用
● 产品表面段差、高度、宽度、平面度测量
● 多层透明体厚度测量
● 2D轮廓/3D微观形貌扫描分析
● 2D/3D粗糙度测量
● 可配合产线定制非标自动化检测方案等
三维轮廓仪背测式载物台设计和两种测量模式的开发 在应用光机电算集成化技术的基础上，本作品的载物台采用背测式结构，即载物台位于被测表面与物镜之间，物镜通过载物台通光孔检测样品表面形貌信息。同类仪器采用试件非工作面定位测量方式，这种方式存在重复性差、稳定性低的难题。本作品不仅克服了以上难题，而且打破了对被测样品横向尺寸的限制。采用正置测量模式时，完成小口径元件的检测；采用倒置模式时，完成大口径元件的检测。
三维轮廓仪在优化光路结构基础上，采用高精度的调整平台来解决这一问题，其调节精度达到亚微米量级，有效调节被测件的三维倾斜和轴向位移，为干涉成像提供保证。 (2) 干涉条纹定域区间优选和移相精度校准 由于干涉波列长度的减小，不仅使成像面干涉条纹数减少，还使干涉条纹对比度随光程差而迅速衰减，这就给从干涉条纹变化中解调相位信息带来了困难。
