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钛铝合金在真空镀膜行业也应用较广，可以做成一定比例的合金靶材，作磁控溅射镀膜的原材料。在做真空镀膜靶材时钛铝合金有多种成分比例，常用的有钛铝原子比（at%）：90：10、80：20、70：30、50：50、30：70、20：80、10：90约于1970年，就开始有钛铝化合物的研究，但到1990年代，AMG才深入研究它，性能得到很大改进;从2000年开始，加玛TiAl得到实际的应用。钛铝合金靶材---钛铝(Titanium Aluminide)是金属间化合物;它有三种形态;加玛钛铝，阿路法2-Ti3Al和TiAl3.其中加玛钛铝令人感兴趣，也已得到实际应用。加玛钛铝具有优越的机械性能;密度低;只有4.0g/cm3;温度**过600度摄氏时的抗氧化和抗腐蚀能力仍很强。可代替传统的以镍为基的高温合金;加玛钛铝已用来制造波音787和波音747-8飞机的低压涡轮桨片.目前在航空发动机结构中，致力于研究开发的主要是以钛铝（TiAl、）和镍铝等为重点的金属间化合物。这些钛铝化合物与钛的密度基本相同，但却有更高的耐温性