真空高压双较清洗电源

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中山市宝辰机电设备有限公司

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行 业：能源 电源 开关电源 

发布时间：2020-12-29

、 主要特点：1．采用的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。2．采用的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，控制膜厚和减少靶材用量。3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的要求。5．主要参数均可大范围连续调节。6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。