去离子水一般是指将水中易去除的强导电质去除又将水中难以去除的硅酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。
工业蒸馏水与高纯水,去离子水,其实都是纯度非常高的水,水中的杂质含量很少,一般电导率都在1us/cm以下。
去离子水就是去掉了水中的除氢离子、氢氧离子外的其他由电解质溶于水中电离所产生的全部离子。
在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。
