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关 键 词：无锡钨钛合金靶材电话
行 业：冶金 有色金属 铜
发布时间：2020-11-04
钨钴钛类硬质合金是在钨钴类硬质合金的基础上适当增加一些钛化物。钛的碳化物的硬度比碳化钨更高，耐磨性也更好。这些特性使它在切削钢材等长切屑材料时的表现更为优越。类似与高速钢中碳化钨机理对硬质合金发明的奠基性贡献，同样地，我也认为钛化物的机理对于金属陶瓷(学名应为钛基硬质合金)的发明具有奠基性贡献。而今天，我们把钨钴类硬质合金和钨钴钛类硬质合金合称为钨基硬质合金(俗称“钨钢”)，它在目前是现代金属切削刀具的不可动摇的主力。
由于合金靶材的纯度关系到溅射薄膜的性能,靶材的纯度越高,碳杂质含量越低,加工工艺通常采用惰性气体保护降低碳杂质的影响。为实现高机械性能与工艺性能,需尽量提高合金的纯度,对碳元素含量的检测要求相应提高
钨钛合金属于一种硬质合金,加工工艺为粉末冶金,按一定配比将高纯度金属钨粉与钛粉混合后以球磨机混匀,再经过惰性气体–真空炉,用真空热压、热等静压等设备烧结而成,通常作为合金靶材
钨钛合金薄膜具有电阻率低,导电导热性、耐腐蚀性能、化学稳定性好,热膨胀系数低等优点,满足集成电路对扩散阻挡层的性能要求,广泛应用于微电子行业
