河南奥菲达仪器设备有限公司
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管式炉，旋转管式炉是河南奥菲达仪器新研发的一种新型电炉，主要运用于冶金，热处理，锂电正负极材料，新能源，磨具等行业测定材料在一定气氛条件下的专业设备。
如果您需要保持物料的单颗粒结构（如在干燥或煅烧物料时），旋转管式炉是您的选择。持续不断的管旋转运动和保护气的应用将为您带来的处理结果。
本系列均系本公司采用国际先进技术，自行研制开发的高性能高节能的新型电炉，主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
炉膛规格 炉膛尺寸 使用温度（℃） 功率（KW）
AFD-2-12 Φ40*1000 1100 2
AFD -4-12 Φ60*1000 1100 4
AFD -6-12 Φ80*1000 1100 6
AFD -4-14 Φ40*1000 1350 4
AFD -6-14 Φ60*1000 1350 6
AFD -8-14 Φ80*1000 1350 8
AFD -6-16 Φ40*1000 1600 6
AFD -8-16 Φ60*1000 1600 8
AFD -10-16 Φ80*1000 1600 10
炉体结构：
1.采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃（参考值，详情请点击）
2.设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）（点击图片查看详细资料）
3.高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）
4.该炉可作为退火或扩散炉，大可用于8”晶片放在对应石英舟中
加热元件：掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以较大程度延长使用寿命）
介绍一下关于的开炉的方法：
1、首先，管式炉如果要开炉的话，在整个墙上可以接通电源，然后利用风扇的方式进行启动，整个开面板的电源按着顺时针的按钮进行扭动，在这种情况之下就可以启动面板，整个仪表盘在一开始的时候还是处于初始状态的，当上面的灯在显示的时候，这就表明他已经在工作了。等到整个管式炉开始工作的时候，再左键按一秒钟，进入整个温度的设定状态，通过左键移动光标的方式，按照上下键的方式来不断调节整个温度所设定的一些数值，按回车键一秒钟，进入到整个温度所设定的状态，通过左右移动光标，按照上下键的方式来不断的调节数值。
2、整个程序的后一步就是设定的时间状态，通常来说，每一个管理者都可以根据自己使用管式炉的具体时间来设定相关的时间，这样就可以结束整个使用程序了，按回车键就可以确定了，在这之后，按住左边的键不要松手，然后再按一下回车键，就能够退出整个程序的设定，这样管式炉就可以按照自己所设定的一些实际情况来开始工作了。
3、管式炉均系采用国际先进技术研制开发的高性能高节能的新型电炉，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。可选择单设**或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高，处于国内水平。炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。
4、管式炉主要运用于冶金，玻璃，热处理，锂电正负极材料，新能源，磨具等行业，测定材料在一定气温条件下的专业设备。炉型结构简单，操作容易，便于控制，能连续生产。
PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体，真空系统，质子流量供气系统，射频等离子源，石英反应腔室等部件组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
管式电炉产品描述
1.1本款管式炉以硅碳棒、硅钼棒或者电阻丝为加热元件，温度一般在1200度以上采用刚玉管。（注：1200度以下也可使用）
1.2采用双层壳体结构和30段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，
1.3炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。
1.4采用技术，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。
1.5具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
