宁德探头 靖江真空计 392 Micro-Ion Plus
价格:1000.00起
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关 键 词:宁德探头
行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2020-08-17
HPG400 大气压到高真空真空计
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。
Bayard Alpert热阴极离子真空规
INFICON Bayard-Alpert热阴极离子真空规BAG050、BAG051、BAG052和BAG053,灯丝组件由钇丝-涂层铱和钨丝两种选择,与Inficon VGC083一起使用;也可兼容其他品牌厂商同类型控制器一起使用。
压力测量范围宽,从大气压至10E-4Torr
单独校准规管保证的测量性能
结构紧凑、坚固耐用,抗辐射和噪音符合CE认证
数字接口可用于与计算机控制系统通讯
运用薄膜传感器技术,该产品可以提供近大气端的精确的绝压测量并能提供大气端真空腔室内精准的相对压力指示。独有的传感器设计消除了在高压力下影响热损失传感器特性的热效应。这种小型模块复合了全部四种传感器及控制电子器件于一个紧凑的一体化设计中,减少了腔室真空规管的需求数量并小化所占空间。全量程压力测量可以通过单一模拟量信号或可选的串行RS485或DeviceNet数字协议输出。RS485和DeviceNet版本产品可以多选择三个设定点继电器用于工艺控制,可以在真空压力测量范围内设定任意压力值或者指定相对压力值。
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器,专门补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案,从超高真空系统到加工工业,或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规,潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计,可以测量大气至10-12 mbar超宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用,显示压力,并为用户提供直观的界面,以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器,PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围,连接皮拉尼和潘宁真空规;以及范围更广的PGC202,测量10-12至1000mbar,连接皮拉尼和离子测量计。
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VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境,这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续监控真空状态,并使之持续维持在一个低位,以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体入口处的精确压力以及真空口处的精确压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体入口处和真空口处的精确压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接,以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来,以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行监控。另外,也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上,实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和超高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程