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深圳市广润自动化设备有限公司
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真空等离子清洗机 型号：SGR-1300 品牌：GRM 产品简述 1、等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。 （A）控制单元 控制单元液晶触摸屏控制方式。 而控制单元又分为两个大的部分： 1）电源部分：主要电源频率是13.56MHz、13.56MHz 是需要电源匹配器的 2）系统控制单元是液晶触摸屏控制 （B）真空腔体 真空腔体材质：高强度铝合金腔体 （C）真空泵 产品特点 处理温度低： 处理温度可以低至50°C以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。 处理全程无污染 等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。可以搭配原有生产流水线，实现全自动在线生产，节约人力成本。 处理效果稳定： 等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。 可以处理各种形状的样品： 对于复杂形状的样品等离子清洗都能找到合适的解决方案。真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。 性能优势 德国电路技术： 采用德国高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果 全面安全防护： 温度过高,过载,气压失常,短路断路,误操作,等全面的报警保护功能。 **级密封腔体： **级的高真空度密封腔体材质及制造工艺 灵活的气体配方选择： 可选择两路、三路、四路气体配方方案,满足不同工艺要求。 优质产品部件： 全部部件采用国内外良好优质部件,运行稳定寿命更长 低温清洗： 满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。 环保简易： 较低的运行成本,操作简单,过程无化学污染物排放,符合环保规范 等离子清洗的作用 等离子清洗的作用原理主要是： （A）对材料表面的刻蚀作用--物理作用 等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。 （B）激活键能，交联作用 等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基不这些键 形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。 （C）形成新的官能团--化学作用 如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会収生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。 参数指标 整机规格 约1150×1350×1850（长×宽×高）mm 整机重量 约400 Kg 铝合金清洗腔体规格 780×400×475（长×宽×高）mm 铝合金清洗腔体有效积 130L 输入电源 380V（三相）／50 Hz 整机输入功率（含真空泵） 2500 W 射频输出（连续可调） 0～600 Ｗ,配置真空电容自动匹配器,输出方式是恒功率模式，电源本身输出功率是实际功率 射频频率 13.56 MHz 清洗时间定时器范围 0～99.99 min 真空泵 德国技术，双较旋片真空泵，抽速可达60m³/h 极限真空度 工作真空度≦30Pa 真空度测量及量程 1.0×105～1.0×10－1 Pa进口电子真空计 气体流量计及量程 国内良好品牌，量程0-300SCCM 进气阀 全自动电子挡板阀 玻璃观察窗 观察清洗舱内辉光状态 常用工作气体 氧气氩气氮气或混合气体可选 气路 *特的气路分布结构，确保气体分布均匀 PLC 德国西门子PLC，全自动程序控制 触摸屏 威纶通触摸屏，人性化界面，较易操作 全面安全防护 温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种 误操作保护功能 电气部件 全采用施耐德 气压调节部件 **良好SMC品牌 电极板 特殊处理的电极板结构，确保放电均匀，清洗效果 腔体： **级的高真空密封腔体