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河南滕景玻璃有限公司
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FTO导电玻璃是一种掺氟的SnO2透明材料，被广泛用于光伏太阳能电池基材、电致色玻璃、液晶显示、光催化等领域，也常用于柔性薄膜PET基材上的导电材料。在光伏领域，如钙钛矿电池项目中，FTO用于PI层的导电基材，为了使正负极不发生接触，因此需要将FTO导电玻璃采用激光刻蚀或化学刻蚀成一条条形状，与金属电极形成井字形。常见的FTO激光刻蚀图形主要有刻线或刻面（如2.5*2.5cm的FTO导电玻璃，刻蚀掉两边2/3的FTO，保留中间1/3的FTO）。 激光刻蚀FTO的原理是利用高能量的激光光束照射FTO表面，控制激光焦点在一个小区域内，在瞬间（通常这个时间在几个纳秒时间内）的高能量激光作用下，汽化FTO，留下一条汽化后的线槽，在保证线槽的干净、无毛刺、无残留的前提条件下，不伤及基材玻璃或PET薄膜，同时能保证线槽两边刻断，无导通性。 而刻面是在刻线的基础条件下，将要刻蚀的面填充为无数条线，通过激光刻蚀扫描线条后，形成一整个面的刻蚀，并能够保证不伤及玻璃，同时还能保证玻璃的透光率，无残留。 通常情况下，导电玻璃激光刻蚀机的较小线宽可以小于10微米，根据FTO方阻或者说厚度决定线宽，也跟所使用的激光的波长、脉冲宽度、脉冲频率、单脉冲能量、刻蚀速度有很大的关系。一般条件下普通的激光刻蚀机刻蚀FTO材料的线宽小于20微米，而要做到10微米以下的线宽或者线间距小于10微米，则需要使用**短脉冲激光刻蚀机，如532nm绿光皮秒激光刻蚀机或飞秒激光刻蚀机等。 而刻面如大面积去除FTO镀层（20*2000mm范围），可选用激光清边机去除P4层材料一样处理，保证加工效果及加工生产需要的加工效率需求。