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设备名称：整合型LED晶粒/晶圆点测机 裸晶测试仪 型号：APT 6000 标准配备 1.机构部分： X、Y、Z、θ轴(精度详见规格) Chuck table（非导电盘&导电盘，共2块） XYZ 调整座 2 座 Edge Sensor 2 座 彩色CCD 1组，1倍镜头，供扫描定位用、供探针定位、外观检视用 掀开式遮光罩 电控箱 分光卡：350nm-1050nm 选配部分： 清针模块 (毛刷 & 贴片 & 吹气) ? 毛刷及贴片为耗材，依客户的使用状况决定更换次数 ESD 模块：HBM/MM ± 4 KV ? Relay 寿命保证：6个月或2亿次(以先到为主) 2.测试机部份 电源供应器：SF 3.IPC 部 分 中央处理器：双核心 CPU G3420 3.2 GHz 存储器：4G 硬盘：500G 17”LCD或以上荧幕、光学鼠标、键盘 作业系统 : Win 7 ?通用规范. 项目 描述说明 规格 工作面积 2~7.8英寸 198mm 卡盘 平面化 ±0.01 mm X 轴 最大行程 200 mm 分辨率 0.5 μm 精度 < 10 μm over 100 mm Y 轴 最大行程 300 mm 分辨率 0.5 μm 精度 < 10 μm over 100 mm Z 轴 最大行程 8 mm 分辨率 1.2 μm 精度 < 5 μm over 30 mm θ axis 轴旋转范围 ± 30° 分辨率 0.0018° 精度 < 10 μm over 160 mm 机器视觉 摄像机 CCD 照明 遥控 焦距 手动调整 校准 自动校准 CCD 分辨率 1280*960 像素 透镜放大倍数 1x 屏显 6.4mm × 4.8 mm ?测试规格. ?测量表 : SF ?厂务需求 项目 单位 规格 机器尺寸W × D × H mm 930x900x1670 机器重量 Kg 600 电源 V 110 电源电流 A 13 气压 Kgf/cm2 5 空气流量 NL/min 5 空气管直径 mm ψ10 真空压力 mmHg -660 真空流量 NL/min 40 真空管直径 mm ψ6
