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CRESTEC电子束 电子束光刻系统 EBL (E-Beam Lithography) 电子束直写系统 、 电子束曝光系统 CABL-9000C series 30kV、50kV、90kV、110kV、130kV 2inch、4inch、6inch、8inch、定制尺寸 纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是较好的方法之一。日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供尖端 的电子束纳米光刻（EBL）系统，或称电子束直写（EBD）、电子束爆光系统。 型号包括CABL-9000C系列、CABL-9000TF系列、8000TF系列、CABL-4200LB及CABL-4200LB。其中CABL-9000C系列较小线宽可达8nm，较小束斑直径2nm，套刻精度 20nm(mean 2σ)，拼接精度 20nm(mean 2σ)。 技术参数： 1.较小线宽：小于10nm（可实现8nm ) 2.加速电压：5-50kV 3.电子束直径：小于2nm 4.套刻精度：20nm(mean 2σ) 5.拼接精度：20nm(mean 2σ) 6.加工晶圆尺寸：4-8英寸(standard)，12英寸(option) 7.描电镜分辨率：小于2nm 主要特点： 1.采用高亮度和高稳定性的TFE电子枪 2.出色的电子束偏转控制技术 3.采用场尺寸调制技术，电子束定位分辨率（address size)可达0.0012nm 4.采用轴对称图形书写技术，图形偏角分辨率可达0.01mrad 5.应用领域广泛，如微纳器件加工，Si/GaAs 兼容工艺，研究用掩膜制造，纳 米加工（例如单电子器件、**器件制作等），高频电子器件中的混合光刻（Mix & Match），图形线宽和图形位移测量等。 ================================== **高分辨率电子束光刻EBL Ultrahigh Resolution EB Lithography (CABL-UH series) 纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是较好的方法之一。日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供尖端 的电子束纳米光刻（EBL）系统，或称电子束直写（EBD）、电子束爆光系统。 **高分辨率的电子束光刻CABL-UH系列的型号包括： CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) 、CABL-UH130 (130keV) 技术参数： 加速电压：较高130keV 单段加速能力达到130keV，尽量减少电子枪的长度 **短电子枪长度，无微放电 电子束直径＜1.6nm 较小线宽＜7nm 双热控制，实现**稳定直写能力 .欣源科技（北京）___CRESTEC电子束