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发布时间：2018-10-18
1957年，德国PFEIFFER公司的W.Becker发明了一种新型的分子泵，命名为涡轮分子泵。其结构为卧式，泵腔内装有动、静叶列，气体由位于泵*的吸气口进入，经抽气通道流至泵体两侧，被叶列压缩较终由排气口排出。此涡轮分子泵转子由19级叶列组成，直径170mm，转速为16 000r/min，抽速为140L/s。1966年，法国SENCMA公司开发了一种14级叶列的立式涡轮分子泵，其转子直径为286mm，转速为12000r/min，抽速为650L/s，开创了立式涡轮分子泵的先河。当前，现代分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀，轴承定位受力状态好，使用寿命长，轴承更换过程中转子位置不动，维修方便等特点。立式分子泵的装配工艺要比卧式分子泵简单，所以近些年立式分子泵的发展速度很快。 磁悬浮分子泵认定为国际先进。这在填补了国内在该领域空白的同时，也为产业化奠定了坚实基础。应用范围广泛。其在半导体生产线、真空镀膜生产线、高档汽车后视镜镀膜生产线等领域都有着广阔的市场前景。针对这一科技创新成果在磁悬浮分子泵领域彻底打破国外技术垄断，提高了国内真空分子泵的技术水平，推动分子泵产品向高端应用发展，同时也为磁悬浮轴承的工业化进展开拓探索出一条技术开发路线，为进一步推广磁悬浮轴承大规模应用提供了实际经验。涡轮分子泵维修厂家维修费用,涡轮分子泵维修厂家在哪里,北京世纪久泰真空技术由北京世纪久泰真空技术有限公司(www.sjjtvac.com)提供。