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行 业：热泵 热泵配件 板式换热器 

发布时间：2018-09-17

1912年，德国人W.Gaede发明了世界上第一台分子泵，它的转子直径为50mm，转子上切有8个尺寸不同的槽，转速为12 000r/min，抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致，但由于故障多很快被淘汰，未能普及。1926年，M.siegbahn在瑞典的大学实验室中开发了一种盘型分子泵，其结构与现代牵引式分子泵相似，泵体上开有螺旋槽，转子为一圆盘。1939年，LE BOLD公司生产制造过两台，直径540mm，槽的尺寸：内侧为22mm×22mm，外侧为22mm×1mm，转速3 700r/min，抽速可达73L/s。早期的分子泵均为牵引式分子泵，这种泵的体积大，抽速小，间隙小，故障多，应用时受到很多限制，所以只能在一些特殊领域使用，未能普及。1957年，德国PFEIFFER公司的W.Becker发明了一种新型的分子泵，命名为涡轮分子泵。其结构为卧式，泵腔内装有动、静叶列，气体由位于泵中央的吸气口进入，经抽气通道流至泵体两侧，被叶列压缩最终由排气口排出。此涡轮分子泵转子由19级叶列组成，直径170mm，转速为16 000r/min，抽速为140L/s。1966年，法国SENCMA公司开发了一种14级叶列的立式涡轮分子泵，其转子直径为286mm，转速为12000r/min，抽速为650L/s，开创了立式涡轮分子泵的先河。当前，现代分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀，轴承定位受力状态好，使用寿命长，轴承更换过程中转子位置不动，维修方便等特点。立式分子泵的装配工艺要比卧式分子泵简单，所以近些年立式分子泵的发展速度很快。
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