μ Phase高精度干涉仪

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关 键 词：高精度干涉仪

行 业：机械 检测设备 

发布时间：2020-10-26

μ Phase高精度干涉仪用于测量高精度要求的光学零件，材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等，被国家计量院，以及各大天文、光电研究所应用于精密光学检测，测量精度及稳定性已得到研究机构的广泛肯定。
应用范围：
可用于测量平面和球面光学零件
可完成各种类型的反射和透射检测
可采用透射法检测双胶合透镜
曲率半径测量
非球面、柱面、轮胎面等面型的测量
大型平面的检测
光学材料的均匀性检测
理想的成盘抛光分块镜面型检测

典型应用
μPhase? SPHERO UP， μPhase? **NO UP，μPhase? Plano Down
?	用于测量不同的平面和球面光学零件
?	操作直观而简单，适合非专业人士操作
?	测量范围：
μPhase? Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm
μPhase? **NO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm
μPhase? SPHERO UP：球面，曲率半径（凸面）2mm—225mm，直径较大55mm
球面，曲率半径（凹面）-3mm—-570mm
?	结构紧凑，占用空间下，可灵活的与产线结合

μPhase? Vertical
?	适用于厂房、车间、实验室的标准干涉仪检测系统
?	立式检测，结构紧凑，占地面积小
?	标配一个沿Z轴方向电动平移的平台，可选配*二个平台
?	倾斜及X/Y平移精调
?	可完成各种类型的反射与透射检测
?	可采用透射法检测双胶合透镜
?	凹面与凸面球面镜的检测范围：标准曲率半径范围：1mm-225mm，直径较大55mm（采用50mm物镜μLens **NO 50）
?	集成半径测量单元
?	可选CGH，用于测量非球面、柱面、轮胎面等
?	Z轴方向设置导轨电机，电动升降
?	曲率半径实现一键式自动测量

μPhase? UNIVERSAL 100
?	用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统
?	球面测量范围：凹面曲率半径较大-3000mm（提供相应导轨）
?	平面测量范围：较大98mm
?	半径测量系统集成导轨和光栅尺
?	适合长焦光学零件和系统的检测
?	与市场上通用的4英寸标准球面物镜相兼容
?	可选旋转对称非球面的检测配件，检测范围10mm-80mm，CGH检测轮胎面、柱面等

μPhase? Plano 300
?	理想的大型平面的检测系统，光学材料的均匀性检测系统
?	理想的成盘抛光分块镜面形检测系统
?	测量范围60-300mm
?	立式检测系统，其它检测方式根据要求可订制
?	具有重型光学元件的支承、调整等操作功能。 


技术规格：
测量原理	泰曼格林型相移式干涉仪，可转成菲索型
测量能力	光学反射面的面形、光学零件或系统的透过波前
激光波长	标配632.8nm，335nm-1064nm间波长可选
PV重复精度	λ/400（λ=632.8nm）
RMS重复精度	λ/6500（λ=632.8nm）
测量不确定度	λ/20（λ=632.8nm）
相机分辨率	μPhase? 500：500×500像素
μPhase? 1000：1000×1000像素
数字化位	8位
激光器类型	稳频氦氖激光器
激光器防护等级	3A