扩散炉---青岛晨立专业定制氧化炉

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青岛晨立电子有限公司

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关 键 词：半导体扩散炉,高温扩散炉,氧化炉

行 业：机械 电子产品制造设备 

发布时间：2024-09-29

一、氧化炉用途?
青岛晨立电子有限公司生产的热处理氧化炉、实验氧化炉主要用于在高温环境下对所加工器件进行：氧化、扩散、烧结、退火、合金等工艺。

二、氧化炉主要技术性能指标
?◆外型形式：卧式单管，1-4管可根据客户需求定制?
?◆工作温度：1280℃?
?◆加热炉管有效口径：Φ240mm
?◆等温区长度：800mm?
?◆控温仪表：原装进口，日本岛电FP23、SR23高精度控温系统?
?◆等温区精度： 400℃--600℃ ±1℃600℃--1280℃ ±0.5℃?
?◆单点温度稳定性： 400℃--600℃ ±1℃600℃--1280℃ ±0.5℃?
?◆升温斜变能力：***大可控升温速度：15℃/min?
?◆升温功率：26KW/管
?◆保温功率：13KW/管
?◆气路系统：氮气+氧气，带湿氮发生器(含液位自动补水装置)
?◆流量计：质量流量计
?◆气路管件：进口原装，长期使用不生锈
?◆气路系统气密性： 1×10-7Pa·m3/S
?◆电源：三相五线380V、50Hz
?◆工艺管：GE，配石英舟、石英帽等
?◆热电偶：S型
?◆气源：整个气路系统包括质量流量计、手动阀门、电磁阀、进口内抛光316L不锈钢管、接头等。每管配有氮气+氧气两种工艺气体。带有温度可控的湿氧发生器。湿氧发生器带水位控制功能，水位实时显示在触摸屏上，当水位低于设定水位时系统自动补水。

?青岛晨立电子有限公司可根据客户需求定制各种非标:氧化炉、热处理氧化炉、实验氧化炉、真空氧化炉、高温氧化炉、管式氧化炉、氧化烧结炉、氧化扩散炉、氧化气氛炉、氧化炉**炉体等各种工业、实验室用热处理氧化炉设备。