价格：20000起
上海升利测试仪器有限公司
联系人：丁女士
电话：13681807210
地址：上海市
产品规格：半导体真空快速退火炉
产品数量：10 个
包装说明：木箱
关 键 词：半导体真空快速退火炉,退火炉,真空退火炉,半导体退火炉,工业炉,工业退火炉,井式退火炉,台式退火炉
发布时间：2018-01-04
半导体快速退火炉以优质加热模块为加热元件，采用双层壳体结构和31段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，半导体退火炉炉膛采用不锈钢材料，退火炉双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，采用外壳整体密封，盖板用硅胶泥密封，炉门配有水冷系统并配有硅胶垫，，用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿、电子企业做高温钎焊、气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火、熔化﹑分析而研制的**理想设备。 半导体真空快速退火炉的详细介绍 （半导体）快速退火炉技术规格要求及参数 项目 名称 内容 备注 产品名称 （半导体）快速退火炉 主 要 技 术 参 数 内胆尺寸 宽530*深430*高220mm 外形尺寸（约） 宽 920 *深900 *高 740 mm 温度范围 室温 MERGEFIELD "温度范围" ～+450℃可调（根据加热板实际热承受能力而定） 加热方式 采用铸铝加热板， 温度波动度 ≤±1℃ 温度均匀度 测温探头的精度为±0.5℃，控温点在加热板上部对角两点及测温的侧面一点， （恒温空载状态下）（加热板的温度均匀性±1℃） 升温速率 ≤8℃/min .空载时升温速度：室温到200℃在8分钟内到达； 外壳温度 温升不**过环境+25℃，门周边除外。 电源 三相五线制，380V，50HZ 总功率 20KW，使用功率16KW 箱 体 结 构 特 征 外壳材料 外层A3厚2.0冷板， 内胆材料 采用5mm厚SUS304不锈钢板制作 保温材料 1. 采用1400型纤维毯保温 2. 具有不可燃烧，隔热性强等特点，厚度为60mm 烟气隔离罩 炉体左右后三个面用亚克力板围起来，炉体正面做对开式门，四周用玻璃胶密封，开炉时可让烟气有效排除。 密封材料 密封条采用直径10mm发泡硅胶条制作，可耐温不变形，门与内胆采用单层密封形式，加强密封效果 门 配两个圆形观察窗，炉门密封圈不易老化和烧坏，真空门装有电脑控制气缸开启和关闭（闭合传感器，确定门关闭）可90度运动 观察窗 采用圆形观察窗口，观察窗直径80，生产过程一目了然 控制系统 加热部分 采用导热板加热，带水冷急速冷却 冷却部分 炉口方管及加热板 电箱 电箱与烘箱分离安装 抽真空 箱体抽气口加装电磁阀阀（带过滤器）直径100*180mm 氮气部分 氮气，需加电磁阀控制，气管管径直径8mm，设备侧面设有氮气接口和甲酸接口，并用一个三通的常闭电磁阀，其后再接一个电磁阀，以控制进入腔体的气体量，电磁阀使用方向按客户要求进出气方向安装。 温控部分 1. 采用微电脑智能型温控器 控制器 采用闽台琦胜HM-782S触摸屏，精度高，稳定性好，设有手动，自动，工业设定等功能，配日本三菱PLC控制器（FX2N-48MR）,与闽台琦胜（型号PLL-2010-002A）可编程控制器通讯控制，能控制显示3个温区并能阶梯式程序升温，预留3个控温探头 流程：合门锁---抽真空---充氮气---自动加热---温度曲线---高温抽真空---真空泵停止---冷却降温---停止充氮---电子门锁---取料完成（供方负责加工，需方负责编程设计） 温度传感器 搁板两个感温探头预留在加热板**部对角处，加热板侧面配一个**温的感温探头，K型探头PID温度控制器需使用3个闽台琦胜温控器，2个程序表，1个显示表 自动恒温 1. 温控器可根据用户设定的温度值，采用PID自动计算输出功率的大小， 2. 越接近温度设定值时，输出功率越小，以达到恒温控制的目的，并可节能省电 真空度 采用数显ZDZ-52T/E 电阻真空计，传感器采用成都睿宝品牌，10分钟内抽至20pa，20分钟内漏率80pa。 电磁阀 （上海西马特）电磁阀，1：真空挡板阀GDQ-7/KF16KF,2：截止阀（氮气充甲酸、水、空气GDC-A）3：压差式充气阀CYC-JQ **温报警 当实际检测温度**过**温保护温控器设定值时，自动切断加热电源，起到双重保护功能 功 能 接地保护 结构件安全接地保护。 电源缺相、相序保护 配有相序保护器 环境温度 - MERGEFIELD "环境温度" 5℃-40℃ 相对湿度 ≤85%RH 电源 AC380V±10%，50Hz 免费进行技术培训。 相关产品 1100℃气氛炉 SLQ1100 半导体真空快速退火炉 SLK400-50