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东莞市施泰力仪器有限公司
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MF
176
系列
—
测量显微镜
MF
测量显微镜具有可扩展性，如与三丰
Vision
Unit
一起使用可提高其性能，或者可 在
PC
中进行数据管理，从而确保提高效率。
特点
?
亮视场观察、清晰的无闪烁的正像、以
及宽阔的视场范围。
?
长工作距离目镜，倍率可达 100X
(总倍率：
2000X)。
?
透射照明孔径光阑和反射照明系统为标
准性能配置。
XY
工作台选择 (行程范围)
?
快速释放系统，特别适用于长行程测量。
?
微调／粗调立柱两侧的加紧装置，进行
聚焦和测量。
?
调零开关 (X
轴和 Y
轴)
也位于操作台手柄
的附近。
?
可将 Vision
Unit
升级为视像测量系统。
性能参数
XY
工作台移动范围
50
x 50mm
100
x 100mm 200 x
100mm 200 x
170mm 300 x
170mm 400 x 200mm
Z
轴移动范围
150mm
150mm
150mm
220mm
220mm
220mm
调焦方式
手动调焦 (粗调焦：10mm/rev、微调焦：0.1mm/rev)
测量方法
线性编码器 (2
轴型：X /
Y
轴、3
轴型：X /
Y / Z
轴)
分辨率 (可转换)
0.001mm
/ 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
测量精度 (20oC
时)
XY
轴：(2.5
0.02L)μm, L
为无负载测量长度 (mm),
JIS B 7153
指示精度 (20oC
时)
Z