价格:20000起
郑州成越科学仪器有限公司
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RTP快速退火炉的主要技术参数如下 加热元件:卤素电极; 电极数量:12支; 整机功率:7.2KW; 升温速率:200℃/Second; 降温速率:30秒(1000℃ → 400℃); 较高温度:1100℃; 温度精度:+/- 1℃; 较大样品尺寸:4英寸; 气氛环境:真空、气体(氮气、氩气、氧气)、空气; 真空系统:可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵 应用领域: -快速热退火 - 快速热氧化 - 快速热氮化 - 硅化 - 扩散 - 化合物半导体退火 - 离子注入后退火 - 电极合金化 - 晶向化和坚化 - 合金熔点分析; - 薄膜沉积; 等等…