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气体传输:2-8种气体 , Swagelok卡套连接 气体类型:30种 进气压力:0.1-0.4MPA 控制阀动作型式:常闭式 响应时间(sec):1S 工作压差:0.05~0.5MPA 最大耐压:3MPA 控制原理:质量流量控制,每个出口单独控制 流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM可定做 采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制,并且不会受到温度及压力变化的影响 其他流速可选择 ,其他气体可选择 准确性: 优于1% 数据:输出的数据转换为标准状态下的质量( 1个大气压,0度) 标准状态规定为: 标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa 控制显示方式:电脑操作 精确控制两种不同气体流量大小,使用其按不同比例(量)均匀混合,并精确控制混合气体流量大小。 可通过电脑软件控制及采集流量信号