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发布时间:2014-09-17
GE50A质量流量控制器 GE50A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。 对于当今市场上的质量流量控制器,GE50A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而*改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。 技术参数: 全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。 控制量程:2% to **的全量程。 测量精度:全量程的1% 灵敏度:全量程的0.1% 热机时间:小于2Min. 响应速度:小于2Sec. 输入电压:±15VDC@100ma 输出电压:0-5VDC 连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge. 数字:RS485或Device net或Profibus 法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等 材质:316不锈钢。 质保期:有限保修自售出之日起12个月。