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苏州飞时曼精密仪器有限公司
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一、扫描探针显微镜功能特点 1.光机电一体化设计，外形结构简单； 2.扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强； 3.精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便； 4.采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描； 5.伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位； 6.高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域； 7.高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择； 8.自由变倍的CCD观测系统，实时观测与定位探针扫描样品区域； 9.采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大； 10.模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护； 11.集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。 二、友好的软件界面及操作功能 1.多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图； 2.多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS（f-RMS）、RMS-间隙（RMS-Z）测量功能； 3.可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域； 4.可任意选择样品起始扫描角度； 5.激光光斑检测系统的实时调整功能； 6.针尖共振峰自动和手动搜索功能； 7.可任意定义扫描图像的色板功能； 8.支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能； 9.支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正； 三、主要技术参数 名 称 参 数 名 称 参 数 工作模式 轻敲模式、接触模式 扫描角度 任意 样品尺寸 Φ≤90mm；H≤20mm 样品移动范围 0～20mm 较大扫描范围 横向50um，纵向5um 马达趋近脉冲宽度 10±2m 扫描分辨率 横向0.2nm，纵向0.05nm CCD放大倍数 光学放大0.6～5X，电子放大40X 扫描速率 0.6Hz~4.34Hz 图像采样点 256×256，512×512 扫描控制 XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A 反馈方式 DSP数字反馈 数据采样 14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样 反馈采样速率 64.0KHz 仪器重量体积 40KG，700*480*450mm 计算机接口 USB2.0 运行环境 运行于Windows98/2000/XP/7/8操作系统