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发布时间：2015-08-20
主要特点：单较脉冲磁控溅射电源适用于金属、合金及石墨等靶材镀制**属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明显性改善靶面电荷累积现象，减少溅射靶表面的打火次数，提高膜层质量。输出电压为单极性脉冲，具有平均电流稳流功能。1、DSP数字化控制/精度高/重复性好，配有控制面板和控制程序。2、具有过流、过热、过压、短路保护。3、控制方式：恒压、恒流、恒功率4、冷却方式：风冷；风冷+水冷5、根据用户要求预留PLC远控接口（远控功能）主要参数：空载电压≥1200V，工作电压：200-800V平均电流稳流精度1%脉冲频率：20KHZ-40KHZ，连续可调或定频脉冲占空比：10%-80%，连续可调按输出功率分为：5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、70KW、100KW