价格：1起
深圳市展芯科技有限公司
联系人：许炜生
电话：18938091491
地址：深圳市南山区科技中二路软件园一期四栋210
产品规格：台体尺寸:724mm*606mm*610mm（W*D*H）
产品数量：50台 个
包装说明：纸箱
关 键 词：探针台系统,探针座,探针夹具
发布时间：2017-02-21
LAB系列探针台-模块化结构设备、全功能型探针台
产品应用：
DC、RF、mmW测试
纳米级电子器件测试，微机电测试，高功率测试
产品特点：
LAB系列为真正意义上的模块化结构设计探针台，让用户可完全围绕实际应用，选择较适合的功能配置，确保较佳成本解决方案的同时满足用户将来的升级需求。
LAB系列可定制的模块为：载物台及其移动基座模块、探针座放置平台移动模块和显微镜及其移动基座模块。用户可自行配置功能模块的同时，还可根据自身需求增加探针卡夹具、激光器、微腔体屏蔽系统、半自动控制系统、全自动控制系统、高温测试系等，满足更多的应用需求。
LAB系列还为用户提供了一个高刚性和稳定性的测试系统。载物台移动基座和探针台底座一体化的结构设计，显着地提高了载物台的结构刚性和稳定性。显微镜支撑为龙门结构，可应用于高放大倍率的光学系统，保证光学系统的稳定性。探针座放置平台采用高刚性结构设计，保证平台板整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，拥有较高的稳定性以满足高精度探针座的定位要求。
载物台(常规晶圆载物台）
尺寸:6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
材质:不锈钢
平整度:≤±2.5μm
真空区域:0，2"，4"，6"环形吸附**
真空控制:手动控制，独立真空区域
真空驱动方式:真空泵
载物台电性能:载物台信号导通，可选择接地或接信号
*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。
** 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。
载物台移动基座
X-Y轴行程范围:6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程
精度:1μm
R轴粗调角度范围:360°
R轴细调角度范围:±9°
微调精度:0.0001°/deg
Z轴细调行程范围:13mm
细调精度:1μm
Z轴快升行程:0~6mm, 可调
Z轴往复精度:<1μm
载物台快速拖出行程:100mm
*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。
探针座放置平台
材质:钢，表面沉镍处理
平台板尺寸:可放置8个CM50或4个RF50探针座
平台板至载物台高度:1.496”(38mm)
探针座兼容性:可兼容磁力或真空吸附底座的探针座
Z轴细调行程范围:45mm
Z轴快升行程:350μm
Z轴往复精度:<1μm
*此处为6"探针台可放置的探针座数量 ，更大尺寸探针台详询客服人员。
显微镜移动基座
X-Y轴行程范围:2"*2"(50mm* 50mm)
X-Y轴精度:1μm
调焦行程:2"(50mm)
精度:1μm
Z轴粗调行程:100mm
气动升降行程:40mm
光学系统
类型:金相显微镜，可选体视或单筒显微镜
光学放大倍数:20X-2000X
* 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。
其它信息
台体尺寸:724mm*606mm*610mm（W*D*H）
重量:120kg
加热载物台(可选项）
尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
温度范围：室温~300℃
温控精度：0.5℃（典型值）
温度均匀性：0.5℃@6"载物台
加热时间：<6min（室温~300℃）
标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。
RF载物台(可选项）
尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
校准片载物台：2个（独立真空控制）
尺寸：配套CS-5等尺寸的校准片
校准片载物台角度调节范围：7°
材质：不锈钢
平整度：≤±2.5μm
真空驱动方式：真空泵
其它扩展配件(可选项）
探针卡夹具：可根据探针卡尺寸定制，应用于多点或自动测试
激光器：1064nm，532nm，355nm，三个波段自由配置，对芯片线路进行切割修改。
半自动控制系统：实现晶圆小批量半自动测试需求
设备环境要求
电源：220V±10%
真空：-8bar
压缩空气：0.6MPa