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产品规格：台体尺寸：724mm*606mm*610mm（W*D*H）
产品数量：50台 个
包装说明：纸箱
关 键 词：探针台系统,探针座,探针夹具
发布时间：2017-02-21
产品应用： DC（直流）、RF（射频）、mmW（毫米波）测试 纳米级电子器件测试，微机电测试 高功率测试 产品特点： 1. 超高性价比的全功能型探针台。 2. 操作简易、操作效率更高——同轴操作机构（载物台和显微镜X-Y移动基座）。 3. 完整的系统配件，客户可根据需求将S系列配置为I-V/C-V测试系统、RF/mmW测试系统、高功率测试系统、光电器件测试系统等等。 载物台(常规晶圆载物台） 尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" 材质：不锈钢 平整度：≤±2.5μm 真空区域：0，2"，4"，6"环形吸附（可选真空微孔吸附）** 真空控制：手动控制，独立真空区域 真空驱动方式：真空泵 载物台电性能：载物台信号导通，可选择接地或接信号 * 根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除环形吸附外，还可选微孔式吸附式载物台。 载物台移动基座 X-Y轴行程范围：6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程。同轴结构。 精度：≤5μm R轴粗调角度范围：360° R轴细调角度范围：±9° 微调精度：0.0001°/deg Z轴细调行程范围：13mm 细调精度：1μm Z轴快升行程：0~6mm, 可调 Z轴往复精度：<1μm 载物台快速拖出行程：100mm *根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。 ** 载物台X-Y为同轴结构，两操作旋钮为同轴一体结构，用户单手可方便操作。 探针座放置平台 材质：钢，表面沉镍处理 平台板尺寸：可放置8个CM50或4个RF50探针座 平台板至载物台高度：1.496”(38mm) 探针座兼容性：可兼容磁力或真空吸附底座的探针座 Z轴细调行程范围：45mm Z轴快升行程：350μm Z轴往复精度：<1μm *此处为6"探针台可放置的探针座数量 ，更大尺寸探针台详询客服人员。 显微镜移动基座 X-Y轴行程范围：2"*2"(50mm* 50mm)，同轴结构 X-Y轴精度：≤5μm 调焦行程：2"(50mm) 精度：1μm Z轴粗调行程：50mm 气动升降行程：40mm 光学系统 类型：金相显微镜、体视或单筒显微镜可选 光学放大倍数：15X-2000X * 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。 其它信息 台体尺寸：724mm*606mm*610mm（W*D*H） 重量：120kg 加热载物台(可选项） 尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" 温度范围：室温~300℃ 温控精度：0.5℃（典型值） 温度均匀性：0.5℃@6"载物台 加热时间：<6min（室温~300℃） 标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。 RF载物台(可选项） 尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" 校准片载物台：2个（独立真空控制） 尺寸：可放置CS-5等尺寸的校准片 校准片载物台角度调节范围：7° 材质：不锈钢 平整度：≤±2.5μm 真空驱动方式：真空泵 其它扩展配件(可选项） 探针卡夹具：可根据探针卡尺寸定制，应用于多点或自动测试 激光器：1064nm，532nm，355nm，三个波段自由配置，对芯片线路进行切割修改。 半自动控制系统：实现晶圆小批量半自动测试需求 设备环境要求 电源：220V±10% 真空：-8bar 压缩空气：0.6MPa
