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关 键 词:石英舟
行 业:耐火材料 耐火原料 石英
发布时间:2012-08-17
石英舟 调角机构可根据石英舟需要调节倾角。一般为3度 四节皮带独立运动,互补干涉, 在靠近石英舟的时候可以慢速运行,不至于撞坏硅片而且不影响整机的工作效率。 机器自带入蓝导引装置和校正机构, 可以装入蓝前可能存在的跑偏等现象自动校正