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东莞启天自动化设备有限公司
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用途:用于太阳能行业,将硅片自动装入篮具中,提高装片效率,降低碎片率。提高生产率,降低人力资源成本。有效实现机器代替人工的生产模式。装片效率是人工装片的三倍以上! 随着国内太阳能电池行业的迅猛发展,人们对电池硅片的处理要求也越来越高,无人工接触式成文主流。硅片尺寸从较初的103mm×103mm、125mm×125mm方硅片发展到目前主流的156mm×156mm方硅片,未来两年210mm×210mm方硅片势头更劲。硅片厚度发展趋势为:300um-270um-210um-180um率高(>0.5%),人工接触式对硅片的二次污染也相当严重,自动化硅片装片机应运而生,实践证明,它有效的提高了生产效率,降低人工成本,降低碎片率,大大提高良品率 3.主要技术参数及功能 3.1外形尺寸:约1000(L)×880(W)×1350(H)(mm) 3.2装片效率:200-2400片/小时 3.3碎片率:≤0.5/1000 3.4工位数:双工位 3.5设备兼容156×156 (±0.5mm)、125×125 (±0.5mm)两种规格的硅片; 太阳能硅片刻蚀机(等离子刻蚀机): 等离子体刻蚀设备的原理是在真空状态下,利用射频辐射使得氧、氩、氮、四氟化碳等气体生成具有高反应活性的离子与器件等反应形成挥发性化合物,然后由真空系统将这些挥发性物质清除出去。 等离子体刻蚀设备应用于刻蚀硅片边沿的硅鳞层,扩散过程中,不但硅片的表面扩散上了磷,硅片边缘也扩散上了磷,这会导致硅片正反两较通过边缘导通短路。所以必须将硅片边缘这层被扩散上的硅磷去掉,大概去除1-3um。硅片在刻蚀机内水平旋转,通入的反应气体为四氟化碳、氧气和氮气。其原理是在放电状态下反应气体四氟化碳、氧气和硅片边缘的硅发生反应,反应形成粉末和气态物质后随气流一起被抽走等。