供应芯片表面缺陷检测仪

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关 键 词：表面缺陷检测仪

行 业：教育装备 电子测量及电工设 检测仪 

发布时间：2012-07-29

产品概述
德国NanoPhotonics公司成立于1997年，其设备主要用于半导体生产中裸芯片表面，边缘，背面的沉积材料及基片的缺陷探测.
 产品特点
REFLEX TT桌上型手动缺陷检测系统
1. 65nm微粒灵敏度
2. 激光暗区域测量技术
3. 一级洁净环境
4. 可选晶圆工作台
5. 集成迷你PC和平板显示器
6. 离线分析
7. 工业标准
8. 自动化软件
 技术参数
适用不同底材和尺寸
-光罩基板尺寸:2.5"×2.5"—8"×8“
-晶圆尺寸:2"—12"