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关 键 词:光刻机
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发布时间:2012-02-23
我司有3种光刻机。 主要技术参数如下: 有效光刻面积:400X 400 mm ;最大载版尺寸:650 X 450mm ;运动方式:步进电机、精密滚珠丝杠导轨;重复定位精度:士2μ ;定位系统:全闭环伺服控制 光刻速度:40~1000点/秒 进口光栅尺:分辨率0.5μm 图像分辨率:2540 dpi —169dpi 控制系统:PC及专用图形控制软件 象素形状:方形、圆形 对焦系统:高倍CCD采集监控,液晶显示 色彩:R、G、B ,多色彩,沙银; 光刻类型、效果及培训技术: 2D、动态光变、2D/3D、同位异像、浮雕、半调图像处理、3D、真彩色、动态超线、微缩文字0.06mm、真彩色3D,激光再现,数码透镜,莫尔加密等。