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北京合能阳光新能源技术有限公司
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产品简介 NCS-R80 无接触厚度电阻率测试仪是一款用于硅片的厚度、电阻率测量的专业仪器，该仪器适用于Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料，所有的设计都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准，确保与其他工艺仪器的兼容与统一。 特征 ■无接触无损伤测量 ■电阻率和厚度同时测量 ■适用的晶圆材料包括Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有的材料 ■电脑触摸屏显示 ■抗干扰强，稳定性好 ■强大的工控机控制和大屏幕显示 ■一体化设计操作更方便，系统稳定 ■为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量 技术指标 ■测试尺寸：50mm-300mm. ■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um ■ 厚度测试精度：+/-0.25um ■ 厚度重复性精度：0.050um ■ TTV 测试精度: +/-0.05um ■ TTV重复性精度: 0.050um ■电阻率测试范围：0.1ohm.cm——50 ohm.cm ■ 电阻率测试精度：+/- 2% ■ 电阻率测量重复精度：+/- 1% ■ 晶圆硅片导电型号：P 或 N型 ■ 材料：Si，GaAs，InP，Ge等几乎所有半导体材料 ■ 可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检测等 ■平面/缺口：所有的半导体标准平面或缺口 联系人：陈才旷 Q