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测量行程（mm） 600×500×250mm 全机尺寸（mm） 1500×1200×1650mm X、Y轴精度 (3+L/250) µm Z轴精度 (3+L/150) µm 速度 XY轴加速度1400 mm/s² Z轴加速度500 mm/s² XY轴速度700 mm/s Z轴速度100 mm/s 光学尺解析度 1µm(0.5µm可选) CCD 日本SONY高清晰CCD 灯源 下轮廓灯：白色(三基色可选)； 上表面灯：分区控制40相灯，白色(三基色可选) 镜头 全自动Navitar变焦镜头 6.5:1 放大倍率 光学放大倍率：1X-6X；影像放大倍率：30X-150X 操作方式 电动 软件 福尔创专利 机台承重 25kg 使用环境 电源供给：110V～220V±10% 50/60HZ 温度：20±5℃ 湿度：45%-75% 保修期 1年
