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上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
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产品名称：微位移测量激光干涉仪 角度摆动检测干涉仪
产品型号：ZLM800
产品产地：德国
制 造 商：德国耶拿尔测量技术有限公司
详细介绍:
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪，主要用于微位移部件的测量，角度变化量的监测，移动平台运动情况的检测，及光刻机几何量的测量，数控机床几何量的测量，较多可实现六轴联动。具有以下性能优势：
l 真正意义上的双频激光干涉仪，两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别，众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
l 全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上一一家将**的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l 干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。
l 计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l 采样频率更快，较高达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体较大速度16m/s（可选）；采用高精度AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。
l 无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l 信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。
l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，ZLM800型是理想的选择。
技术参数
型号：ZLM800 使用高性能数据处理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波长： 632.8 nm
激光稳频精度： 一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
系统精度（0-40℃时）： ±0.4ppm
光束直径： 6mm (可选3.2mm)
激光管突发较大输出功率： 1mW (激光等级2)
每束光可测量的轴数： 较多6个
线性测量距离： 40m，可扩展为120m
角度测量范围： ± 15°，20m轴线范围
平面度测量范围： 20m行程
直线度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程，
选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉仪
较大速度： 4m/s，可选16m/s
80rad/s，角速度
较大加速： 无限制
较高采样频率： 内部1MHz，外部40MHz
预热时间： 10分钟
精度/非线性： ±0.3nm (角隅反射镜)
±0.1nm (平面反射镜)
距离测量分辨率： 0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选
距离测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
线性度测量分辨率： 0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选
线性度测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度测量精度： ±0.5ppm实测值
角度测量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒)
角度测量精度： ±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率： 0.015μrad (3x10-3 弧秒)
平面度测量精度： ±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率： 36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直线度测量精度： ±0.5%实测值，2m行程
± 2.5%实测值，10m行程
垂直度测量分辨率： 36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度测量精度： ±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒*
数据接口： 积分信号
32 Bit (实时时间)
Dt » 20 ns
数据分析标准： ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境： 温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
储存环境： 温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝