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关 键 词：电容式传感器
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发布时间：2011-08-10
ZCS1100是一个单一的通道，高性能线性位移测量系统，创新的电容位移测量技术，提供了纳米测量能力，成本低，适合测量任何导电目标。可用在微小振动测量，安装方便灵敏度高，精度高。 应用领域 压电微位移振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。 主要特点 纳米级分辨率；线性0.08%；灵敏度可调；量程：240µm；分辨率：0.1nm；供电：±15VDV； 高性能、成本低，尺寸小巧；