价格:面议
广州市保德电热钛制品有限公司
联系人:李德钊
电话:18922278689
地址:广州市番禺区沙湾镇涌口村*三工业区9号
产品规格:220V/3kw
产品数量:1组 个
包装说明:泡沫纸、纸皮
关 键 词:化学泵
行 业:
发布时间:2012-04-11
钛泵、化学泵、耐酸碱泵 钛泵的性能 (1) 极限压强:10-8帕 (2) 抽速: 钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关,磁场强时抽速也大,对应较佳抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需要大抽速的场合,可用基本结构单元并联的方式使抽速达到50升/秒、100升/秒等。 (3) 启动压强:10-2帕 (4) 寿命: a、阴极耗尽寿命 阴极钛板因溅射穿通而使泵无法使用。 b、阳极剥落寿命 阳极内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落,导致泵内压强的不规则强烈变化,使泵无法使用。 c、阳极吸饱寿命 阳极上吸附和溶解了大量的氦气、氢气,当达到饱和状态时泵不能再吸附气体。 在正常使用情况下,溅射离子泵的寿命可达几万小时。 编辑本段 6、钛泵电源 钛泵的电源是高内阻电源,其空载输出电压在3~7KV间,但负载电流大时,输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵使用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额定电压与磁场强度下的放电电流Iion(mA)与压强P(Torr)有一定的曲线关系。所以通过离子泵电源可反映出压强的大小。 泵电源的面板上显示有:输出直流高压和钛泵放电电流等