多晶硅生产硅芯单次五根一炉十五根硅芯炉

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关 键 词：多晶硅

行 业：冶金 贵金属/半金属 硅 

发布时间：2010-04-02

经过长期的研究和实践，在传统硅芯炉的基础上，我公司成功研发了一次可提拉多根硅芯的JN-FZ-400-5型硅芯炉。该设备的成功运行，是半导体材料行业一个历史性突破，*了国家*，处于世界良好地位。

JN-FZ-400-5型硅芯炉的基本性能参数

 
1、原料规格        Φ75～82mm×530mm
 
2、成品规格        Φ7～12mm×2500mm
 
3、产能            15stick/time
 
4、上轴快速升降速度   0～800mm/min
 
5、上轴慢速升降速度  0～25mm/min
 
6、上轴有效行程      2500mm
 
7、下轴快速升降速度  0～330mm/min
 
8、下轴慢速升降速度  0～5mm/min
 
9、下轴较大行程      6000mm
 
10、下轴旋转速度     0～12rpm
 
11、真空度            ≦3Pa
 
12、高频感应加热电源   2～2.5MHz
 
上轴有效行程基本尺寸为2500mm，可根据客户需求，在2000mm～3000mm之间进行调整。