JN-FZ-3A型高真空悬浮区熔硅单晶炉

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包装说明：箱

关 键 词：多晶硅

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发布时间：2010-03-24

JN-FZ-3A型高真空悬浮区熔单晶炉

 
用途：用于拉制单晶硅棒或用于硅材料提纯。
1 、原料规格 	≤φ78×1000mm
  raw and processed materials specification 	
2 、成品规格 	≤φ78×1000mm
  finished product specification 	
3 、上轴有效行程 	1050mm
  upper  shaft travel displacement	
4 、下轴有效行程 	1050mm 
  lower shaft travel displacement	
5、上、下轴快升/快降速度 	0 ～ 600mm/min 
  upper shaft、lower shaft quickly rise  / quickly speed	
6 、上、下轴慢升/慢降速度	0 ～ 4 mm/min
 upper shaft、lower shaft slow rise  / slow speed	
7、上轴转速	0～2rpm
upper shaft rotation speed	
8、下轴转速	0～10rpm
 lower shaft rotation speed	
9、冷炉的极限真空度	5×10-3Pa
limiting vacuum	
10、电源电压/频率/相数	380V/50Hz/3
voltage of supply/frequnecy / number of phasese	
11、主控柜功率	15KW
base cabinet Rated Power	
12、主机尺寸	1485(L）×1280（W）×5500（H）
Main Dimension	
13、炉室尺寸	418(L）×400（W）×976（H）
Chamber Size