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关 键 词：磷检炉
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发布时间：2010-03-23
磷检炉是在真空条件下，在亚气保护下利用硅区熔时，硅中磷、硼的有效分凝系数的差别及磷、硼从硅中蒸发速率的差别来检验硅多晶棒的电子**设备。 1、原料规格 Φ 20 × 150mm 2、成品规格 Φ 15 × 200mm 3、上下轴较大行程 300mm 4、上轴快速升降速度 0～180mm/min 5、上轴慢速升降速度 0～6mm/min 6、下轴快速升降速度 0～180mm/min 7、下轴升降速度 0～6mm/min 8、上下轴转速 0～66r/min 9 、真空度 ≤3pa 10、高频感应加热电源 2.3MHz