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关 键 词:薄膜压力传感器
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发布时间:2011-04-16
PT200S溅射薄膜压敏芯体 薄膜式压力传感器采用进口的合金薄膜压力敏感元件结合先进的工艺制作而成。压力介质直接作用在17-4PH不锈钢膜片上制作了惠斯登电桥的合金薄膜应变单元,该合金材料以分子形式在弹性体上淀积成薄膜应变电阻,薄膜电阻与弹性体以分子键合“融”为一体,可长期在-40~150℃工作温度下稳定工作。 ◆ 主要技术参数 压力量程(bar):0-5、7~2200 灵敏度:1-2mV/V 输出阻抗:4.5KΩ±500Ω 输出阻抗:4.5KΩ±500Ω 零位偏置:±1mV/V 零位温度漂移:±0.5%FS/100℃ 灵敏度温度漂移:±0.25%FS/100℃ 温度滞后:±0.05%FS 共振频率:50KHz 长期稳定性:100万次压力循环≤0.15%FS/年,储存≤0.1%FS/年 工作温度范围:-40~150℃ 补偿温度范围:-40~150℃