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而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。 从确保洁净室内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时比较好不采用。而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题,并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中,而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此,选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。 各种不同的加湿器的应用范围不同:如:淋水、湿膜、高压喷雾等水加湿器,其特点是加湿量大、投资费用低,而相对湿度控制精度较差,因此多用于相对湿度要求不严格(> ±10%),加湿量很大的工业厂房和一般舒适用空调房间的空调系统加湿。净化工程中,操作人员的个人卫生也是重要的一环。淮南净化工程设备
旋风除尘技能具有设备费用低、可处理低温气体、操作容易、适合含尘浓度高的气体的诸多特点。由于旋风除尘器是依靠尘粒惯性分离,除尘效率与粒径成正比,粒径大除尘效果好;反之,除尘效果较差(一般处理20微米以上的粉尘,除尘效率在百分之七十到九十)。洁净室又可以分为工业洁净室,生物洁净室,其中工业洁净室主要是以控制空气中的尘埃,净化工程,在洁净室内部呈正压。工业洁净室一般在机械工业,化学工业,电子工业,光磁工业,电脑硬盘,液晶玻璃等多个行业用到的比较多。生物洁净室,主要是将细1菌和尘埃掉,将工作区域保持洁净状态。其中生物洁净室又可以分为两类,一般生物洁净室和生物学安全洁净室,一般生物洁净室主要是控制细1菌。而生物学安全洁净室,主要是控制有害物体,保证人体和外界不受污染。上海电子净化工程哪家好洁净室的洁净度水平直接影响到产品的质量和可靠性,因此应给予足够的重视。
净化工程解决方案 编辑 大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求,不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求,而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此,在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施,例如:夏季要降温、去湿(因为夏季室外空气是高温、高湿的),冬季要加热加湿(因为冬季室外空气是寒冷干燥的,室内湿度过低会产生静电,静电对电子产品的生产是致命的)。 对于净化空调系统的加湿问题而言,常用的加湿方法有很多种,有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿,这些加湿方法属等焓加湿过程。
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘 化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。 净化工程不仅提升空气质量,更对人员健康起到保护作用。
在我国,《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范)都是这样规定的 垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s 水平平行流(层流)洁净室≥0.35 m/s 噪声控制 洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在于保障操作正常进行,满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是: 1.烦恼的效应 由于噪声,使人感到不安宁而产生烦恼情绪,一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹,比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者,即为高烦恼,高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。 2.对工作效率的影响 这主要看三方面的反应水平,这三个方面是:集中精神,动作准确性,工作速度; 3.对综合通讯的干扰 这主要分为:清楚或满意,稍困难,困难,不可能 对以上三方面指标都用A声级来评价。净化工程的规划应考虑未来技术的发展和升级。淮南净化工程设备
净化工程的实施需配备专业的工程技术人员。淮南净化工程设备
往往须耗时相当长一段时间。层流式(Laminar)等级名称等级限值μmμmμmμm5μm容积单位容积单位容积单位容积单位容积单位国际单位英制单位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在侧污染较严重。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。复合式。淮南净化工程设备